[实用新型]一种具有靶材保护功能的镀膜设备

说明书

本实用新型涉及一种具有靶材保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及装载小车，所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头，所述端头与真空腔体壁之间设有绝缘块，端头上方竖直安装有靶材，所述靶材可旋转运动，所述靶材外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩，所述靶罩上开设有镀膜口，靶罩在镀膜口处安装有细铁丝网，所述细铁丝网在与靶材相背的一侧配设有装载小车，所述装载小车上设有用于固定基板的卡具。本实用新型提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，该设备通过在靶罩的镀膜口上安装细铁丝网，将固定有基板的装载小车与旋转靶材相隔开，细铁丝网的设置不仅有效防止了破裂玻璃掉落时搁在靶材上对其造成损伤，而且对靶材溅射过程也具有一定散射作用，利于改善镀膜的均匀性，进而提高产品质量。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种具有靶材保护功能的镀膜设备。

背景技术

目前镀膜基板多以TFT贴盒玻璃为主，通常先在5代及更高世代线生产完成TFT-array玻璃和CF玻璃制程以后，再经过贴合及切割成3.5代线大小，送至减薄厂减薄，减薄后送至触摸屏厂进行Oncell触控sensor制程。现有的Oncell触摸屏采用以TFT液晶显示玻璃(包括array面板玻璃和CF玻璃)贴盒减薄好后的CF玻璃背面制造触摸功能，实现液晶显示和触摸传感器的双重作用，该方法简单，成本较低，近年来受到人们的普遍关注。但由于镀膜玻璃基板是经过切割及减薄后的TFT贴盒玻璃，玻璃质地非常脆，容易在镀膜过程中因受热而破裂，破裂后的玻璃碎片会从装载小车掉落进镀膜真空腔体内部，且部分玻璃碎片会不可避免的搁在竖着的靶材上面。由于靶材在镀膜过程中会不停息的持续旋转，致使搁在旋转靶材上的玻璃会将靶材刮坏。靶材表面一旦刮坏后将无法正常放电起辉，进而无法正常使用，影响镀膜过程的正常进行。而且由于镀膜靶材价格昂贵，一支靶材通常可高达20多万，其厚度却不过5-9mm，因此针对表面受损的靶材通常不会直接遗弃，而是选择修复，修复靶材就必须打开镀膜腔体用打磨机将靶材表面打磨平整，打磨靶材的过程一方面浪费了昂贵的靶材，另一方面也耽误了生产时间，不利于提高生产效率。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述技术问题，提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，该设备通过在靶罩的镀膜口上安装细铁丝网，将固定有基板的装载小车与旋转靶材相隔开，不仅有效防止了破裂玻璃掉落时搁在靶材上对其造成损伤，而且安装在镀膜口上的细铁丝网会对靶材溅射过程形成一定散射作用，利于改善镀膜的均匀性，进而提高产品质量。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及装载小车，所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头，所述端头与真空腔体壁之间设有绝缘块，端头上方竖直安装有靶材，所述靶材可旋转运动，所述靶材外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩，所述靶罩上开设有镀膜口，靶罩在镀膜口处安装有细铁丝网，所述细铁丝网在与靶材相背的一侧配设有装载小车，所述装载小车上设有用于固定基板的卡具。

进一步的，所述细铁丝网包括若干等距平行分布的细铁丝，所述细铁丝的分布方向与装载小车的运行方向互相垂直。

进一步的，所述细铁丝的直径为0.4-0.6mm。

进一步的，相邻细铁丝之间的距离分布在28-32mm。

进一步的，相邻细铁丝之间的距离为30mm。

进一步的，所述基板为TFT贴盒玻璃。

本实用新型所起到的有益技术效果如下：

与现有技术相比较，本实用新型提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，该设备通过在靶罩的镀膜口上安装细铁丝网，将固定有基板的装载小车与旋转靶材相隔开，细铁丝网的设置不仅有效防止了破裂玻璃掉落时搁在靶材上对其造成损伤，而且对靶材溅射过程也具有一定散射作用，利于改善镀膜的均匀性，进而提高产品质量。

附图说明