[实用新型]一种具有靶材保护功能的镀膜设备

权利要求书

1.一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜机及装载小车（7），所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头（1），所述端头（1）与真空腔体壁（9）之间设有绝缘块（4），端头（1）上方竖直安装有靶材（2），所述靶材（2）可旋转运动，所述靶材（2）外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩（3），所述靶罩（3）上开设有镀膜口（8），靶罩（3）在镀膜口（8）处安装有细铁丝网（6），所述细铁丝网（6）在与靶材（2）相背的一侧配设有装载小车（7），所述装载小车（7）上设有用于固定基板（5）的卡具。

2.如权利要求1所述一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，所述细铁丝网（6）包括若干等距平行分布的细铁丝，所述细铁丝的分布方向与装载小车（7）的运行方向互相垂直。

3.如权利要求2所述一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，所述细铁丝的直径为0.4-0.6mm。

4.如权利要求3所述一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，相邻细铁丝之间的距离分布在28-32mm。

5.如权利要求4所述一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，相邻细铁丝之间的距离为30mm。

6.如权利要求1所述一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，所述基板（5）为TFT贴盒玻璃。