[实用新型]一种多功能真空平台的对位系统

权利要求书

1.一种多功能真空平台的对位系统，其特征在于，包括支承台、对位机构和至少一对CCD摄像头；

其中，所述对位机构包括固定在机架上的底板和设置在底板上用于驱动支承台进行位置调整的调整机构；

所述支承台包括台板和用于支撑台板的支撑板，所述支撑板的下端通过移动板设置在调整机构上；所述台板上设有至少一对对位孔，一对对位孔与一对CCD摄像头相对应；所述对位孔沿着垂直于物料的移动方向排列，对位孔上设有透明板；所述台板上除对位孔的透明板之外的其他部位设有多个通风孔，所述通风孔的下方设有与负压装置连通的通风道。

2.根据权利要求1所述的多功能真空平台的对位系统，其特征在于，所述调整机构包括6组三自由度调节单元，6组三自由度调节单元呈矩形状排布在底板上，所述三自由度调节单元包括第一平移导轨、第一平移滑动座、第二平移滑动座、转动盘、设在第一平移导轨和第一平移滑动座之间的X方向直线移动机构、设在第一平移滑动座和第二平移滑动座Y方向直线移动机构以及设在转动盘和第二平移滑动座之间的Z轴转动机构；其中三组三自由度调节单元中设有驱动X方向直线移动机构或Y方向直线移动机构作直线移动的直线驱动机构，分别为第一直线驱动机构、第二直线驱动机构以及第三直线驱动机构，其中，第一直线驱动机构和第二直线驱动机构的驱动方向相同，且垂直于第三直线驱动机构的驱动方向。

3.根据权利要求2所述的多功能真空平台的对位系统，其特征在于，所述第一平移导轨固定在底板上；所述第二平移滑动座的下端设有第二平移导轨，上端通过Z轴转动机构与转动盘连接，该第二平移导轨的延伸方向垂直于第一平移导轨的延伸方向；所述第一平移滑动座的下端设有与第一平移导轨配合的下滑动槽，上端设有与第二平移导轨配合的上滑动槽；第一直线驱动机构和第二直线驱动机构所驱动的第一平移滑动座的延伸方向与第三直线驱动机构所驱动的第一平移滑动座的延伸方向垂直。

4.根据权利要求2或3所述的多功能真空平台的对位系统，其特征在于，所述直线驱动机构包括通过电机座固定设置在底板的驱动电机和传动组件，所述传动组件包括丝杆和固定连接在第一平移滑动座的丝杆螺母，所述丝杆的一端固定在驱动电机的转轴上，另一端穿过丝杆螺母转动连接在底板的固定块上。

5.根据权利要求4所述的多功能真空平台的对位系统，其特征在于，所述对位孔为两对，两个CCD摄像头通过可调节距离的结构设置在底板上。

6.根据权利要求1所述的多功能真空平台的对位系统，其特征在于，所述CCD摄像头通过固定连接机构连接在底板上，所述固定连接机构包括两个支撑架和连接在两个支撑架上的连接架，所述支撑架的下端固定在底板上，上端固定连接在连接架上；所述连接架横跨在移动板之上，两个CCD摄像头设置在连接架上。

7.根据权利要求1或6所述的多功能真空平台的对位系统，其特征在于，所述台板的下方设有吸风连接板，该吸风连接板设有与台板配合的上端设有与多个所述通风道连通的吸风区；所述吸风区与负压装置的吸风头连通。