[实用新型]一种加热组件

权利要求书

1.一种加热组件，设于载板下方，用于对所述载板的加热面进行加热，其特征在于：包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，所述第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，所述第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；所述第一加热元件的排布方向垂直于所述第二加热元件的排布方向设置，且所述第一加热元件与第二加热元件在所述载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。

2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于：所述第一加热元件及第二加热元件均包括加热段和非加热段，所述第一加热元件与第二加热元件的加热段在所述载板加热面上的投影构成类“回”字型。

3.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于：所述第一加热元件及第二加热元件均为独立控制的加热灯管，所述加热灯管包括石英玻璃管及设于所述石英玻璃管内的灯丝。

4.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于：还包括用于控制各个所述加热灯管中灯丝的功率的控制器。

5.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于：所述加热灯管对应于所述灯丝发热段的管壁下表面设有反射层。

6.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于：所述加热灯管包括红外加热灯管。

7.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于：所述第一加热单元及第二加热单元均还包括灯外壳，多根所述第一加热元件及多根所述第二加热元件间隔设置在对应的所述灯外壳内，且多根所述第一加热元件及多根第二加热元件均包括至少两种电阻值的电阻丝。

8.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于：还包括用于独立地控制所述第一加热单元及第二加热单元的功率的控制器。

9.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于：所述灯外壳对应于所述电阻丝的加热段的管壁下表面设有反射层。

10.根据权利要求5或9所述的加热组件，其特征在于：所述反射层包括Ag层、Al层、AlNd层、石英层及陶瓷层中的一种或多种。