[实用新型]一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置有效
| 申请号： | 201820372368.4 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN207992682U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 吴琼;张琦;王历先;项宗齐;何少锋 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 宋倩;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光阑 打标装置 对准 镜筒 光刻设备 直写 吸盘 本实用新型 通光光阑 光阑孔 底座 透镜 光刻工艺 依次设置 曝光机 上端 隔圈 内层 通孔 托板 压圈 半导体 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：包括对准镜筒，依次设置在对准镜筒内的压圈、隔圈、透镜和LED光源，连接在对准镜筒上端的吸盘通光光阑底座，设置在吸盘通光光阑底座内的MEMS光阑，以及连接在对准镜筒下端的LED托板。
2.根据权利要求1所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：所述对准镜筒、吸盘通光光阑底座、压圈、隔圈、透镜、LED光源、LED托板和MEMS光阑的中心均在同一条直线上。
3.根据权利要求1所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：所述吸盘通光光阑底座上设有若干点胶孔。
4.根据权利要求1所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：所述LED光源的波段为405nm。
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