[实用新型]一种硅片切割液除沫装置

说明书

本实用新型提供一种硅片切割液除沫装置，包括外筒体和内筒体，所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连，所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头，所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网；所述内筒体中心位置处设有锥形中心管，所述锥形中心管的正上方设有浮子，所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通，所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网，所述锥形中心管的底部设有出液管，所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板，所述出液管上设有出液孔；所述内筒体的顶部设有圆形盖板，所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮。

技术领域

本实用新型涉及液相除沫装置领域，特别涉及到一种硅片切割液除沫装置。

背景技术

在硅片切割过程中，需要使用切割液带走切割过程中产生的热量和碎屑以保证硅片的质量和切割效率，而切割液是以水和少量有机物组成的混合溶液，这些有机物中含部分起泡能力较强的表面活性剂类物质，在使用过程中受到泵、滤网以及喷头的强剪切作用导致切割液起沫严重，而这些泡沫在循环系统内无法消除，这些泡沫的产生会显著影响切割液的效果以及浪费切割机台集液槽的容积，目前主要通过添加消泡剂的化学消泡方式来抑制和消除泡沫，但是由于切割是一个动态过程，泡沫的产生受到多种因素影响，因此消泡剂的加入量很难完全适量，这给生产管理带来很大的难度，而且消泡剂的加入不仅会影响切割液质量，而且会增加硅片切割成本。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中存在的上述缺陷和不足，提供了一种硅片切割液除沫装置，该装置可以及时高效的移除硅片切割液在循环过程中产生的泡沫，取代目前的化学消泡方式。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种硅片切割液除沫装置，包括外筒体和内筒体，所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连，所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头，所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网；所述内筒体中心位置处设有锥形中心管，所述锥形中心管的正上方设有浮子，所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通，所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网，所述锥形中心管的底部设有出液管，所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板，所述出液管上设有出液孔；所述内筒体的顶部设有圆形盖板，所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮。

进一步，所述锥形封头的锥斜边与所述内筒体的夹角为45度。

进一步，所述外圆环滤网的过滤精度为1mm，内圆环滤网的过滤精度为0.5mm。

进一步，所述进液管的数量为4-8根，呈轴对称分布，且其所述水平面高于所述盲板所在的水平面。

进一步，所述浮子为锥形结构、置于所述锥形中心管顶部锥形区域内，所述锥形中心管的锥斜边与竖直方向夹角为45度。

进一步，所述出液孔的数量为8-16个，呈轴对称分布，且其所在水平面高于盲板所在水平面。

进一步，所述外筒体和所述内筒体的底部采用焊接的方式固定相连。

进一步，所述锥形封头与所述内筒体之间设有外圆环滤网定位板，所述外圆环滤网通过外圆环滤网定位销固定在所述外圆环滤网定位板上。

进一步，所述锥形中心管与所述内筒之间设有内圆环滤网定位板，所述内圆环滤网固定在所述内圆环滤网定位板上。

进一步，所述盖板包括活动半圆盖和固定半圆盖。

本实用新型所达到的有益技术效果：本实用新型提供一种硅片切割液除沫装置，该装置采用物理除沫法，不添加化学药剂，不会改变切割液组成，液体表面泡沫经过此装置能迅速移除，除沫过程无需额外提供分离动力，运行成本低；装置拆装简单方便，便于安装维护，装置设置移动滑轮便于转移，根据生产需求，除沫装置可以灵活匹配切割机台。

附图说明

图1本实用新型结构示意图。