[实用新型]一种硅片切割液除沫装置

权利要求书

1.一种硅片切割液除沫装置，其特征在于：包括外筒体和内筒体，所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连，所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头，所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网；所述内筒体中心位置处设有锥形中心管，所述锥形中心管的正上方设有浮子，所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通，所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网，所述锥形中心管的底部设有出液管，所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板，所述出液管上设有出液孔；所述内筒体的顶部设有圆形盖板，所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮。

2.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述锥形封头的锥斜边与所述内筒体的夹角为45度。

3.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述外圆环滤网的过滤精度为1mm，内圆环滤网的过滤精度为0.5mm。

4.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述进液管的数量为4-8根，呈轴对称分布，且其水平面高于所述盲板所在的水平面。

5.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述浮子为锥形结构、置于所述锥形中心管顶部锥形区域内，所述锥形中心管的锥斜边与竖直方向夹角为45度。

6.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述出液孔的数量为8-16个，呈轴对称分布，且其所在水平面高于盲板所在水平面。

7.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述外筒体和所述内筒体的底部采用焊接的方式固定相连。

8.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述锥形封头与所述内筒体之间设有外圆环滤网定位板，所述外圆环滤网通过外圆环滤网定位销固定在所述外圆环滤网定位板上。

9.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述锥形中心管与所述内筒之间设有内圆环滤网定位板，所述内圆环滤网固定在所述内圆环滤网定位板上。

10.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于：所述盖板包括活动半圆盖和固定半圆盖。