[实用新型]推车

说明书

本实用新型提供一种推车，包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮，所述物架上设有至少一个倾角传感器，所述物架和所述底板之间设有吸震机构，所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构，能够在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造技术领域，尤其涉及一种推车。

背景技术

在半导体集成电路制造工厂(FAB)中，时常需要利用推车运送各制程之间的晶圆(Wafer)以及光刻制程中的光罩(Reticle)，而现有的推车结构简单，基本上与普通推车无异，在运输晶圆或光罩的过程中，无法有效地对震动起到防控作用，一旦推车在运输的过程中发生轻微的颠簸或较为剧烈的抖动，就会对其运输晶圆或光罩表面的洁净度产生一定的影响，主要表现在：一是，晶圆盒或者光罩盒内原有的颗粒(Particle)在推车发生震动的情况下会漂浮到晶圆或光罩表面上；二是，推车发生的震动会让晶圆或光罩与承载所述晶圆或光罩的承载盒相互摩擦，并产生颗粒(Particle)，这些颗粒会漂浮到晶圆或光罩表面上。

因此，需要一种新的推车，能够在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种推车，在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。

为解决上述问题，本实用新型提出一种推车，包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮，所述物架上设有至少一个倾角传感器，所述物架和所述底板之间设有吸震机构，所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构。

可选的，每个所述车轮和所述底板之间均设有减震机构。

可选的，所述减震机构为减震垫，或者，所述减震机构包括组装在一起的减震弹簧和液压阻尼器，所述减震弹簧的一端固定在所述车轮或所述底板上。

可选的，所述吸震机构包括设置在所述物架和所述底板之间的四个空气阻尼器或电磁阻尼器。

可选的，所述物架的上表面四角或下表面四角上均设有一个倾角传感器。

可选的，所述电子控制机构包括电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的单片机或微处理芯片。

可选的，所述物架上还设有用于放置晶圆或光罩的卡匣或盒体。

可选的，所述底板为不锈钢板。

可选的，至少有一个所述车轮为万向轮。

可选的，所述物架和所述底板之间设有用于抬升和固定所述物架的升降机构，或者所述底板和所述车轮之间设有用于抬升和固定所述底板的升降机构。

与现有技术相比，本实用新型的推车，在所述物架上安装了用于检测物架当前倾斜程度的倾角传感器，在物架和底板之间安装了用于对运输过程中的震动进行吸收的吸震机构，电连接所述倾角传感器和吸震机构的电子控制机构根据所述倾角传感器检测出来的物架当前倾斜程度来触发或者控制吸震机构工作，以吸收推车的震动，从而在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。

附图说明

图1是本实用新型具体实施例的推车的结构示意图；

图2是本实用新型具体实施例的物架底面的仰视结构示意图；

图3是本实用新型具体实施例的底板的俯视结构示意图；

图4是本实用新型具体实施例的物架平衡控制信号原理图。

具体实施方式