[实用新型]推车有效
申请号: | 201820305540.4 | 申请日: | 2018-03-05 |
公开(公告)号: | CN208007001U | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 刘明;吴雷雷;骆建钢 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | B62B3/00 | 分类号: | B62B3/00;B62B5/00 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底板 物架 倾角传感器 晶圆 推车 吸震 电子控制机构 本实用新型 光罩表面 电连接 洁净度 有效地 光罩 运输 车轮 震动 保证 | ||
1.一种推车,其特征在于,包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮,所述物架上设有至少一个倾角传感器,所述物架和所述底板之间设有吸震机构,所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构。
2.如权利要求1所述的推车,其特征在于,每个所述车轮和所述底板之间均设有减震机构。
3.如权利要求2所述的推车,其特征在于,所述减震机构为减震垫,或者,所述减震机构包括组装在一起的减震弹簧和液压阻尼器,所述减震弹簧的一端固定在所述车轮或所述底板上。
4.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述吸震机构包括设置在所述物架和所述底板之间的四个空气阻尼器或电磁阻尼器。
5.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述物架的上表面四角或下表面四角上均设有一个倾角传感器。
6.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述电子控制机构包括电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的单片机或微处理芯片。
7.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述物架上还设有用于放置晶圆或光罩的卡匣或盒体。
8.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述底板为不锈钢板。
9.如权利要求1所述的推车,其特征在于,至少有一个所述车轮为万向轮。
10.如权利要求1至9中任一项所述的推车,其特征在于,所述物架和所述底板之间设有用于抬升和固定所述物架的升降机构,或者所述底板和所述车轮之间设有用于抬升和固定所述底板的升降机构。
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