[实用新型]推车有效

专利信息
申请号: 201820305540.4 申请日: 2018-03-05
公开(公告)号: CN208007001U 公开(公告)日: 2018-10-26
发明(设计)人: 刘明;吴雷雷;骆建钢 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: B62B3/00 分类号: B62B3/00;B62B5/00
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 底板 物架 倾角传感器 晶圆 推车 吸震 电子控制机构 本实用新型 光罩表面 电连接 洁净度 有效地 光罩 运输 车轮 震动 保证
【权利要求书】:

1.一种推车,其特征在于,包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮,所述物架上设有至少一个倾角传感器,所述物架和所述底板之间设有吸震机构,所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构。

2.如权利要求1所述的推车,其特征在于,每个所述车轮和所述底板之间均设有减震机构。

3.如权利要求2所述的推车,其特征在于,所述减震机构为减震垫,或者,所述减震机构包括组装在一起的减震弹簧和液压阻尼器,所述减震弹簧的一端固定在所述车轮或所述底板上。

4.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述吸震机构包括设置在所述物架和所述底板之间的四个空气阻尼器或电磁阻尼器。

5.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述物架的上表面四角或下表面四角上均设有一个倾角传感器。

6.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述电子控制机构包括电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的单片机或微处理芯片。

7.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述物架上还设有用于放置晶圆或光罩的卡匣或盒体。

8.如权利要求1所述的推车,其特征在于,所述底板为不锈钢板。

9.如权利要求1所述的推车,其特征在于,至少有一个所述车轮为万向轮。

10.如权利要求1至9中任一项所述的推车,其特征在于,所述物架和所述底板之间设有用于抬升和固定所述物架的升降机构,或者所述底板和所述车轮之间设有用于抬升和固定所述底板的升降机构。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司,未经德淮半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820305540.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top