[实用新型]一种基于LCOS技术的曝光机有效
| 申请号： | 201820287326.0 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN207965473U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 孙雷;张洪波;张婧姣 | 申请（专利权）人： | 联士光电（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光机 偏振分光元件 高分辨率 曝光工件 投影系统 偏振光 反射 光源 本实用新型 重要意义 曝光 工艺流程 投射 入射 掩膜 电子产品 生产成本 图案 | ||
1.一种基于LCOS技术的曝光机，其特征在于，包括光源（1）、偏振分光元件PBS（2）、LCOS（3）、投影系统（4）和待曝光工件（5），其中光源（1）发出的光中p型偏振光通过偏振分光元件PBS（2）后入射到高分辨率的LCOS（3）上，LCOS（3）反射的光为s型偏振光，经偏振分光元件PBS（2）反射后进入投影系统（4），通过投影系统（4）投射到待曝光工件（5），使待曝光工件（5）形成曝光，为缩小曝光机整体体积，所述曝光机在光路上任意位置加入一个或多个反射镜或棱镜，对光路进行折叠。
2.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的曝光机，其特征在于，所述光源（1）的波长范围为350~470nm，已经经过光学系统整形成与LCOS（3）长宽比相匹配，其出射光数值孔径与投影系统（4）物方数值孔径相匹配。
3.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的曝光机，其特征在于，所述偏振分光元件PBS（2）包括偏振分光棱镜和偏振分光片，偏振分光元件PBS（2）用于分光，对p型偏振光透过，对s型偏振光反射，s型偏振光与p型偏振光成90度角。
4.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的曝光机，其特征在于，所述LCOS（3）是一种反射元件，使入射p型偏振光转变成s型偏振光，通过控制LCOS（3）上每个像素的开关形成所需图形，LCOS（3）反射后的光线作为曝光图案的发生源，所述LCOS（3）具有大于等于1920 x1080的分辨率。
5.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的曝光机，其特征在于，所述投影系统（4）用于把光投影到待曝光工件（5），投影系统（4）由透镜组组成，可以是放大系统，也可以是缩小系统。
6.如权利要求1所述的一种基于LCOS技术的曝光机，其特征在于，所述待曝光工件（5）的表面是一平面，和光路垂直。
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