[实用新型]一种镀膜机的四开门真空室有效

专利信息
申请号: 201820277558.8 申请日: 2018-02-27
公开(公告)号: CN208087734U 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 赵中红;刘伟;胡晓忠 申请(专利权)人: 温州驰诚真空机械有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/50
代理公司: 温州名创知识产权代理有限公司 33258 代理人: 陈加利
地址: 325000 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 容纳腔 固定杆 本实用新型 真空室本体 开口 开门 镀膜机 放置盘 工件架 真空室 室门 底座 等间距设置 垂直设置 铰接设置 生产效率 新机械 适配 垂直 封闭
【说明书】:

实用新型公开了一种镀膜机的四开门真空室,包括真空室本体,所述真空室本体内设置有第一容纳腔,所述第一容纳腔设有一对对应的开口,各所述开口的左、右两侧均铰接设置有与该开口相封闭适配的一对室门,各所述室门设置有第二容纳腔,各所述第二容纳腔垂直设置有工件架,所述工件架包括底座、固定杆以及放置盘,各所述固定杆垂直等间距设置于底座上,各所述放置盘套设于固定杆。本实用新型具有以下优点和效果:本方案利用新机械结构,采用四开门达到了提高生产效率的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜机,特别涉及一种镀膜机的四开门真空室。

背景技术

真空镀膜机是电弧蒸发式高真空镀膜设备,主要用于在工件表面上镀金属材料或合金材料,可以镀制TiN、TiC等超硬膜;Al、Ag、Cu等高温低温耐腐蚀膜或不锈钢铜、黄铜等装饰保护膜,在机械、化工、冶金、轻工、电子等领域广泛的使用。

现有的绝大多数真空镀膜设备其原理采用蒸发镀膜,工作流程为将工件放置于真空室内的工件架上,启动真空镀膜设备,使被镀材料蒸发成气态并在工件表面上凝结成膜,再经高温热处理后,在工件表面形成附着力很强的膜层,从而对真空室内的工件进行镀膜,待镀膜完毕后,把真空室内已镀膜的产品从工件架上取出再把下一批需要镀膜的产品放置在工件架上,如此循环工作。完成将工件从工件架上取出再把下一批需要镀膜的产品放置在工件架上的过程需要一定的时间,若真空室的空间越大,则安装、拆卸时间也就越长,同时镀膜机也一直处于等待状态,如此生产效率便十分低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种结构设计合理且可以提高生产效率的镀膜机的四开门真空室。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种镀膜机的四开门真空室,包括真空室本体,其特征在于:所述真空室本体内设置有第一容纳腔,所述第一容纳腔设有一对对应的开口,各所述开口的左、右两侧均铰接设置有与该开口相封闭适配的一对室门,各所述室门设置有第二容纳腔,各所述第二容纳腔垂直设置有工件架,所述工件架包括底座、固定杆以及放置盘,各所述固定杆垂直等间距设置于底座上,各所述放置盘套设于固定杆。

通过采用上述技术方案,每一个开口任意一侧室门与真空室本体进行工作时,另外每一个开口另一侧的室门可装卸工件,由此节省了一半的工作时间,提高了生产效率,再者一个固定杆可以等间距套设多个放置盘,并且放置盘大小可以不等,如此可以大幅度提高产量,并且合理的利用空间,同时在同个生产时间内可以对大、小工件同时镀膜,增加了生产效率。

进一步设置为:所述底座正对第二容纳腔底壁一面设置有旋转机构,所述旋转机构包括主轴,所述主轴一端设置于底座上,另一端作为动力输入端穿过第二容纳腔的底壁且裸露在室门外。

通过采用上述技术方案,电机驱动主轴转动,主轴带动底座转动,固定杆带动放置盘随之公转,使得在放置盘上的工件表面镀膜膜层厚度分布均匀。

进一步设置为:所述旋转机构包括从轴以及大齿轮,所述大齿轮包括供主轴穿设的穿孔以及用于固定大齿轮的固定柱,所述穿孔与大齿轮同轴设置且直径大于主轴直径,所述固定柱一端与大齿轮固定连接,另一端与第二容纳腔的底壁固定连接,各所述从轴一端套设于固定杆,另一端穿过底座且设置有小齿轮,所述小齿轮与大齿轮相啮合。

通过采用上述技术方案,主轴驱动底座转动,从轴随之公转,同时小齿轮沿着大齿轮运动,从而固定杆带动放置盘自转,实现了放置盘随底座公转的同时并进行自转,使工件表面镀膜膜层厚度分布均匀,同时保证了工件的质量。

进一步设置为:所述固定杆靠近与从轴固定连接一端端部沿径向设置有一对对应的卡脚,所述从轴与固定杆连接一端设置有供固定杆端部卡设的第一凹槽,所述第一凹槽沿径向设置有一对与卡脚相适配的卡槽。

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