[实用新型]一种镀膜机的四开门真空室有效
申请号: | 201820277558.8 | 申请日: | 2018-02-27 |
公开(公告)号: | CN208087734U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 赵中红;刘伟;胡晓忠 | 申请(专利权)人: | 温州驰诚真空机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/50 |
代理公司: | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人: | 陈加利 |
地址: | 325000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 容纳腔 固定杆 本实用新型 真空室本体 开口 开门 镀膜机 放置盘 工件架 真空室 室门 底座 等间距设置 垂直设置 铰接设置 生产效率 新机械 适配 垂直 封闭 | ||
1.一种镀膜机的四开门真空室,包括真空室本体,其特征在于:所述真空室本体内设置有第一容纳腔,所述第一容纳腔设有一对对应的开口,各所述开口的左、右两侧均铰接设置有与该开口相封闭适配的一对室门,各所述室门设置有第二容纳腔,各所述第二容纳腔垂直设置有工件架,所述工件架包括底座、固定杆以及放置盘,各所述固定杆垂直等间距设置于底座上,各所述放置盘套设于固定杆。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机的四开门真空室,其特征在于:所述底座正对第二容纳腔底壁一面设置有旋转机构,所述旋转机构包括主轴,所述主轴一端设置于底座上,另一端作为动力输入端穿过第二容纳腔的底壁且裸露在室门外。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机的四开门真空室,其特征在于:所述旋转机构包括从轴以及大齿轮,所述大齿轮包括供主轴穿设的穿孔以及用于固定大齿轮的固定柱,所述穿孔与大齿轮同轴设置且直径大于主轴直径,所述固定柱一端与大齿轮固定连接,另一端与第二容纳腔的底壁固定连接,各所述从轴一端套设于固定杆,另一端穿过底座且设置有小齿轮,所述小齿轮与大齿轮相啮合。
4.根据权利要求1所述的一种镀膜机的四开门真空室,其特征在于:所述固定杆靠近与从轴固定连接一端端部沿径向设置有一对对应的卡脚,所述从轴与固定杆连接一端设置有供固定杆端部卡设的第一凹槽,所述第一凹槽沿径向设置有一对与卡脚相适配的卡槽。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜机的四开门真空室,其特征在于:所述真空室本体位于开口两侧侧壁上设置有一对对应的用于注入气体的通孔。
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