[实用新型]一种芯片的高精度全定位固定模块有效
| 申请号: | 201820225195.3 | 申请日: | 2018-02-08 |
| 公开(公告)号: | CN207883670U | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
| 发明(设计)人: | 罗昌凌;韩飞 | 申请(专利权)人: | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 王贤义 |
| 地址: | 519180 广东省珠*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片放置槽 芯片 固定模块 全定位 本实用新型 推块槽 推块 第一基板 弹性销 凸台 销孔 载具 自动化测试 待测芯片 倾斜设置 尾部设置 拐角处 侧壁 弹簧 适配 顶住 应用 | ||
1.一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:它包括载具(1),所述载具(1)包括第一基板(2)和设置在所述第一基板(2)上的凸台(3),所述凸台(3)上设置有方形的芯片放置槽(4),所述芯片放置槽(4)位于所述凸台(3)的中心位置,待测芯片(5)置于所述芯片放置槽(4)内,所述凸台(3)上还倾斜设置有推块槽(6),所述推块槽(6)连接在所述芯片放置槽(4)的一个拐角处,所述推块槽(6)适配设置有推块(7),所述推块(7)的尾部设置有弹簧(8),所述推块(7)的头部顶住所述芯片(5),所述芯片放置槽(4)的两个侧壁均设置有若干销孔(9),若干所述销孔(9)均设置有弹性销(10),所述芯片(5)与所述弹性销(10)相接触。
2.根据权利要求1所述的一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:所述凸台(3)为圆柱形块,所述凸台(3)由圆弧形基准块(11)、圆弧形第一定位块(12)和圆弧形第二定位块(13)构成,所述芯片放置槽(4)设置在所述圆弧形基准块(11)上端面的圆心处,所述推块槽(6)设置在所述圆弧形第一定位块(12)和圆弧形第二定位块(13)之间,所述圆弧形基准块(11)的高度高于所述圆弧形第一定位块(12)和所述圆弧形第二定位块(13)的高度。
3.根据权利要求1所述的一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:所述第一基板(2)下连接有探针板模块(14),所述探针板模块(14)包括第二基板(15),所述第二基板(15)上设置有浮动块(16),所述浮动块(16)上设置有与所述芯片(5)相配合的探针(17),所述载具(1)内开有一个开口向下的凹槽(18),所述芯片放置槽上(4)设置有孔位(19),所述探针(17)通过所述凹槽(18)和所述孔位(19)后与所述芯片(5)相接触。
4.根据权利要求3所述的一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:所述载具(1)设置有第一导套(20),所述浮动块(16)上还设置有针板导向柱(21),所述针板导向柱(21)与所述第一导套(20)相配合。
5.根据权利要求3所述的一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:所述探针板模块(14)下连接有升降装置(22),所述升降装置(22)包括升降板(23)和气缸(24),所述升降板(23)设置在所述探针板模块(14)的下端,所述气缸(24)设置在所述升降板(23)的下端。
6.根据权利要求2所述的一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:所述载具(1)上设置有基准板模块(25),所述基准板模块(25)包括第三基板(26)和限位座(27),所述第三基板(26)连接在所述限位座(27)的上端,所述第三基板(26)的下端面为平面,所述平面与所述圆弧形基准块(11)的上端面相配合。
7.根据权利要求6所述的一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:所述载具(1)上设置有导向销钉(28),所述第三基板(26)上设置有第二导套(29),所述第二导套(29)与所述导向销钉(28)相配合。
8.根据权利要求6所述的一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:所述圆弧形基准块(11)的内部竖直设置有销钉(30),所述销钉(30)的位置靠近所述芯片放置槽(4)。
9.根据权利要求8所述的一种芯片的高精度全定位固定模块,其特征在于:所述圆弧形第二定位块(13)上设置有二维码(31)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





