[实用新型]超细式花篮压杆有效
| 申请号： | 201820221720.4 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN207800574U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 刘鹤川 | 申请（专利权）人： | 无锡市索克赛斯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 横杆中心 压杆 横杆 锁头 超细 卡槽 通孔 花篮 取出 本实用新型 残留液体 倒角设计 硅片承载 酸碱液体 自动锁死 自动脱离 残留液 耐酸碱 碳纤棒 细结构 卡接 凸圆 压体 焊接 浸泡 | ||
【权利要求书】：
1.一种超细式花篮压杆，包括横杆中心棒（1），其特征在于：所述横杆中心棒（1）外侧套有横杆外套（3），所述横杆中心棒（1）与横杆外套（3）两端均设有锁头（2），所述锁头（2）一侧开有卡槽（4），所述横杆中心棒（1）与横杆外套（3）两端均卡接于卡槽（4）内部，所述锁头（2）上开有第一通孔（5），所述横杆中心棒（1）上开有第二通孔（6），所述第一通孔（5）与第二通孔（6）直径相同。
2.根据权利要求1所述的一种超细式花篮压杆，其特征在于：所述锁头（2）与横杆外套（3）均为PP材质。
3.根据权利要求1所述的一种超细式花篮压杆，其特征在于：所述锁头（2）的数量为两组，且锁头（2）外端设有凸圆倒角（7）。
4.根据权利要求1所述的一种超细式花篮压杆，其特征在于：所述横杆中心棒（1）的直径为4mm，所述横杆外套（3）的外径为6mm。
5.根据权利要求1所述的一种超细式花篮压杆，其特征在于：所述横杆中心棒（1）为碳纤材质。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
