[实用新型]一种连续检测式晶元片检测头

说明书

本实用新型涉及自动化检测工装技术领域，公开了一种连续检测式晶元片检测头，包括基板、连接柱，基板的下侧面设有左侧板、右侧板，左侧板与右侧板之间设有水平的转轴，转轴的左端设有转动支架，转动支架的上端、下端均设有定位座，定位座上均设有探针组件，探针组件包括探针定位板、固定在探针定位板上的若干探针，探针定位板上设有接线座，每根探针均与接线座电连接，基板上设有排线插座，接线座与排线插座之间通过排线连接；转轴的右端设有外齿圈，基板上设有升降电缸，升降电缸的轴端设有与外齿圈啮合的齿条。本实用新型延长了探针更换周期，缩短了探针更换的时间，从而提高了晶元片检测效率。

技术领域

本实用新型涉及自动化检测技术领域，尤其涉及一种连续检测式晶元片检测头。

背景技术

晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，晶元在封装制造成芯片之前需要对其性能进行检测，由于一个晶元片上存在成百上千个晶元，人工通过探针对每个晶元进行检测，工作量非常大，而且容易漏检；因此为了提高检测效率，目前都是通过检测设备自动检测，探针是晶元片检测设备上的重要部件，探针检测大量的晶元片后容易磨损，需要定期更换，目前检测头上的探针更换麻烦，而且频繁更换探针会降低检测效率。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中存在的上述问题，提供了一种连续检测式晶元片检测头，该种检测头能延长探针更换周期，从而提高晶元片检测效率。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种连续检测式晶元片检测头，包括基板、与基板固定的连接柱，所述的基板的下侧面设有左侧板、右侧板，所述左侧板与右侧板之间设有水平的转轴，所述转轴的左端设有转动支架，所述转动支架的上端、下端均设有定位座，所述的定位座上均设有探针组件，所述的探针组件包括探针定位板、固定在探针定位板上的若干探针，所述探针定位板上设有接线座，每根探针均与接线座电连接，所述的基板上设有排线插座，所述的接线座与排线插座之间通过排线连接；所述转轴的右端设有外齿圈，所述基板上设有升降电缸，所述升降电缸的轴端设有与外齿圈啮合的齿条。

连接柱与检测设备机械连接，排线插座通过另一根排线与检测设备上的检测系统连接，两个定位座上都装上探针组件；检测时，位于转动支架下侧的探针组件与晶元片接触检测，位于转动支架上侧的探针组件闲置，当下侧的探针组件检测额定次数后(达到额定检测次数后该探针应当报废)，此时停止检测，升降电缸轴端下降，齿条向下移动通过外齿圈带动转轴转动180度，从而继续进行检测，该过程只需要几秒钟就能完成；探针组件达到额定次数后，升降电缸复位，然后同时更换两个探针组件；该种晶元片检测头将探针更换周期延长了一倍，从而将停机更换探针的时间省去了一半，而且整体更换探针组件，比单独更换探针更加省力、省时。

作为优选，所述转动支架的右端固定有转盘，所述转盘的边缘处设有两个关于中心对称的限位孔，所述基板的底部设有水平电缸，所述水平电缸的轴端设有与限位孔同轴的限位销。探针组件正常工作时，水平电缸的轴端伸出，限位销插入限位孔内；当探针组件上的探针达到额定检测次数后，水平电缸的轴端缩入、限位销从限位孔内拔出，然后升降电缸轴端下降，待转盘转动180度后，水平电缸动作，从而将限位销再次插入限位孔内定位，从而有效的防止探针组件检测过程中转动支架发生偏转，进而确保检测精度。

作为优选，所述左侧板的左侧面上设有弧形限位槽，所述转盘的右侧面设有限位柱，所述限位柱的头部伸入弧形限位槽内；当限位柱位于弧形限位槽的两端时，所述的限位销与限位孔同轴。