[实用新型]一种连续检测式晶元片检测头

权利要求书

1.一种连续检测式晶元片检测头，包括基板、与基板固定的连接柱，其特征是，所述的基板的下侧面设有左侧板、右侧板，所述左侧板与右侧板之间设有水平的转轴，所述转轴的左端设有转动支架，所述转动支架的上端、下端均设有定位座，所述的定位座上均设有探针组件，所述的探针组件包括探针定位板、固定在探针定位板上的若干探针，所述探针定位板上设有接线座，每根探针均与接线座电连接，所述的基板上设有排线插座，所述的接线座与排线插座之间通过排线连接；所述转轴的右端设有外齿圈，所述基板上设有升降电缸，所述升降电缸的轴端设有与外齿圈啮合的齿条。

2.根据权利要求1所述的一种连续检测式晶元片检测头，其特征是，所述转动支架的右端固定有转盘，所述转盘的边缘处设有两个关于中心对称的限位孔，所述基板的底部设有水平电缸，所述水平电缸的轴端设有与限位孔同轴的限位销。

3.根据权利要求2所述的一种连续检测式晶元片检测头，其特征是，所述左侧板的左侧面上设有弧形限位槽，所述转盘的右侧面设有限位柱，所述限位柱的头部伸入弧形限位槽内；当限位柱位于弧形限位槽的两端时，所述的限位销与限位孔同轴。

4.根据权利要求1所述的一种连续检测式晶元片检测头，其特征是，所述的定位座呈U形，定位座的两个相向的内侧面上均设有导向槽，导向槽的侧面设有橡胶垫片，导向槽的底面设有贯穿定位座外侧面的间隙，所述定位座的外端均设有锁紧螺栓。