[实用新型]一种棱镜真空镀膜系统

说明书

本实用新型涉及棱镜加工技术领域。目的在于提供一种能够提高镀膜均匀度的棱镜真空镀膜系统。本实用新型所采用的技术方案是：一种棱镜真空镀膜系统，包括镀膜箱的箱体和箱门。箱体内的中部由下至上依次设置有与箱体相配合的第一横板和第二横板，所述第一横板呈格栅状，所述第二横板的中心设置圆形的通孔，所述通孔内设置布气盘，所述布气盘的下部通过轴承与第二横板连接。所述布气盘顶部的边缘设置一圈齿环，所述齿环与齿轮啮合，所述齿轮由固定设置在箱体内侧壁的第一电机驱动，所述布气盘上均匀设置若干布气孔。本实用新型能够极大的提高镀膜气体在箱体内分布的均匀度，使镀膜更加的均匀，提高了镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及棱镜加工技术领域,具体涉及一种棱镜真空镀膜系统。

背景技术

棱镜在加工过程中一般需要在其表面进行真空镀膜，真空镀膜顾名思义就是在真空环境下给棱镜的表面镀上膜层，从而提高棱镜的光学性能。真空镀膜的方式主要分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜。蒸发镀膜是通过加热对某种物质进行加热，使其沉积固化在棱镜的表面。现有的蒸发镀膜箱通常包括一个箱体，箱体底部设置一个镀膜蒸发器，顶部设置一个棱镜夹具，利用镀膜蒸发器对材料进行加热，然后使其沉积在棱镜表面。为了提高镀膜的均匀度，现有技术中通常在镀膜蒸发器和棱镜夹具之间设置一个用于均匀气体分布的多孔板。镀膜蒸汽在经过多孔板后被均匀的分散。但这种方式在镀膜精度的要求较高时，其均匀度仍然不够理想。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能够提高镀膜均匀度的棱镜真空镀膜系统。

为实现上述发明目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种棱镜真空镀膜系统，包括镀膜箱的箱体和箱门，所述箱体的顶部设置真空泵，所述真空泵通过抽真空管与箱体内部连通；所述箱体内的顶部设置棱镜夹持机构、底部设置镀膜蒸发器，箱体内的中部由下至上依次设置有与箱体相配合的第一横板和第二横板，所述第一横板呈格栅状，所述第二横板的中心设置圆形的通孔，所述通孔内设置布气盘，所述布气盘的下部通过轴承与第二横板连接；所述布气盘顶部的边缘设置一圈齿环，所述齿环与齿轮啮合，所述齿轮由固定设置在箱体内侧壁的第一电机驱动，所述布气盘上均匀设置若干布气孔。

优选的，所述棱镜夹持机构包括夹持组件和固定设置在箱体内顶面的第二电机；所述夹持组件包括并排设置的竖向的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板的顶部与横梁的一端连接，所述横梁与第二电机连接；所述第一夹板和第二夹板之间设置横向的螺杆，所述螺杆的一端与第一夹板固接，另一端穿过设置在第二夹板上的杆孔且端部适配螺母；所述横梁的底部沿长度方向设置导轨，所述第二夹板的顶部设置与导轨相配合的滑块；所述第一夹板和第二夹板下部相对的一面还分别设置有一个橡胶夹垫。

优选的，所述第一夹板和第二夹板下部还分别对应设置有一个圆孔，所述圆孔内穿设有相适配的短轴，短轴上均固定设置有两个限位盘，所述第一夹板和第二夹板卡设在限位盘之间；所述橡胶夹垫固定设置在短轴的内端，所述短轴的外端与旋转把手连接。

优选的，所述箱门上还设置有透明的观察窗。

本实用新型的有益效果集中体现在，能够极大的提高镀膜气体在箱体内分布的均匀度，使镀膜更加的均匀，提高了镀膜质量。具体来说，本实用新型在使用过程中，将镀膜材料放置在镀膜蒸发器内，将棱镜利用棱镜夹持机构夹住，然后关闭箱门，利用真空泵将箱体内部抽至真空状态。然后启动镀膜蒸发器，开始进行镀膜，镀膜材料在蒸发后形成的镀膜气体在上升的过程中，经过第一横板和布气盘两次均匀，在箱体内分布的均匀度更好。同时，由于本实用新型的布气盘在第一电机的驱动下不断的旋转，不断的改变镀膜气体上升的路径，使得镀膜气体分布的更加均匀。因此，本实用新型能够增加镀膜均匀度，提高镀膜质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为布气盘的俯视图；

图3为图1中A部放大图。

具体实施方式