[实用新型]一种棱镜真空镀膜系统

权利要求书

1.一种棱镜真空镀膜系统，包括镀膜箱的箱体（1）和箱门（2），其特征在于：所述箱体（1）的顶部设置真空泵（3），所述真空泵（3）通过抽真空管与箱体（1）内部连通；所述箱体（1）内的顶部设置棱镜夹持机构、底部设置镀膜蒸发器（4），箱体（1）内的中部由下至上依次设置有与箱体（1）相配合的第一横板（5）和第二横板（6），所述第一横板（5）呈格栅状，所述第二横板（6）的中心设置圆形的通孔，所述通孔内设置布气盘（7），所述布气盘（7）的下部通过轴承与第二横板（6）连接；所述布气盘（7）顶部的边缘设置一圈齿环（8），所述齿环（8）与齿轮啮合，所述齿轮由固定设置在箱体（1）内侧壁的第一电机（9）驱动，所述布气盘（7）上均匀设置若干布气孔（10）。

2.根据权利要求1所述的棱镜真空镀膜系统，其特征在于：所述棱镜夹持机构包括夹持组件和固定设置在箱体（1）内顶面的第二电机（11）；所述夹持组件包括并排设置的竖向的第一夹板（12）和第二夹板（13），所述第一夹板（12）的顶部与横梁（14）的一端连接，所述横梁（14）与第二电机（11）连接；所述第一夹板（12）和第二夹板（13）之间设置横向的螺杆（15），所述螺杆（15）的一端与第一夹板（12）固接，另一端穿过设置在第二夹板（13）上的杆孔且端部适配螺母（16）；所述横梁（14）的底部沿长度方向设置导轨（17），所述第二夹板（13）的顶部设置与导轨（17）相配合的滑块（18）；所述第一夹板（12）和第二夹板（13）下部相对的一面还分别设置有一个橡胶夹垫（19）。

3.根据权利要求2所述的棱镜真空镀膜系统，其特征在于：所述第一夹板（12）和第二夹板（13）下部还分别对应设置有一个圆孔，所述圆孔内穿设有相适配的短轴（20），短轴（20）上均固定设置有两个限位盘（21），所述第一夹板（12）和第二夹板（13）卡设在限位盘（21）之间；所述橡胶夹垫（19）固定设置在短轴（20）的内端，所述短轴（20）的外端与旋转把手（22）连接。

4.根据权利要求3所述的棱镜真空镀膜系统，其特征在于：所述箱门（2）上还设置有透明的观察窗（23）。