[实用新型]静电吸附装置

权利要求书

1.一种静电吸附装置，包括静电吸附盘，其特征在于，还包括设置于所述静电吸附盘中的吹扫组件，用于对所述静电吸附盘表面的杂质粒子进行气体吹扫，且所述吹扫组件能够沿竖直方向进行升降运动。

2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，还包括用于支撑所述静电吸附盘的基座、以及从所述基座延伸至所述静电吸附盘且贯穿所述静电吸附盘的通道，所述吹扫组件设置于所述通道内。

3.根据权利要求2所述的静电吸附装置，其特征在于，所述通道沿所述基座的轴向延伸并贯穿所述静电吸附盘的中心。

4.根据权利要求3所述的静电吸附装置，其特征在于，所述吹扫组件包括管道、升降器和控制器；所述管道，设置于所述通道内，吹扫气体经所述管道向所述静电吸附盘表面喷射；所述升降器，连接所述控制器、所述管道，用于根据所述控制器的指令控制所述管道在所述通道内沿竖直方向进行升降运动。

5.根据权利要求4所述的静电吸附装置，其特征在于，所述控制器，能够通过所述升降器控制所述管道竖直上升至高于所述静电吸附盘吸附表面的第一预设位置，且能够通过所述升降器控制所述管道竖直下降至低于所述静电吸附盘吸附表面的第二预设位置。

6.根据权利要求5所述的静电吸附装置，其特征在于，所述控制器还用于检测所述静电吸附装置是否发生错误报警，若是，则通过所述升降器控制所述管道竖直上升至高于所述静电吸附盘吸附表面的第一预设位置，并开始向所述静电吸附盘表面进行气体吹扫。

7.根据权利要求2所述的静电吸附装置，其特征在于，还包括真空泵，所述真空泵用于吸收经所述吹扫组件吹扫的杂质粒子。

8.根据权利要求7所述的静电吸附装置，其特征在于，所述真空泵设置于所述基座下方，且所述真空泵的轴线与所述基座的轴线重合。

9.根据权利要求7所述的静电吸附装置，其特征在于，所述真空泵包括涡轮分子泵和/或干式真空泵。

10.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述气体为惰性气体。