[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置，所述背板的朝向所述振膜的一侧或所述振膜的朝向所述背板的一侧设有多个用于防止所述振膜振动时粘黏于所述背板的绝缘凸起，所述绝缘凸起包括与所述背板或所述振膜固定的固定端以及与所述固定端相对的接触端，所述接触端的中央部分较其周缘部分更靠近所述固定端。与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风可靠性更好。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种应用于移动电子设备的MEMS麦克风。

【背景技术】

近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。

相关技术的MEMS麦克风包括振膜和与所述振膜相对间隔设置的背板，为了防止两者粘合，相关技术的MEMS麦克风在所述背板上设置了位于所述振膜与所述背板之间的若干个防粘凸起，通过所述防粘凸起减小所述振膜与所述背板的粘附面积，降低粘附力，避免粘连现象。

然而，由于工艺条件或成本的限制，所述防粘凸起自身的形貌尺寸很难做到很小，所述振膜与所述防粘凸起的接触面积并没有降低到可以忽略不计的程度，导致两者之间的粘黏力依旧较大。当振膜的回弹力仍然小于粘黏力时，所述振膜依旧会存在粘黏连于所述背板的风险，造成所述MEMS麦克风失效，降低了所述MEMS麦克风的可靠性。因此，有必要提供一种新的MEMS麦克风以解决上述缺陷。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是克服上述技术问题，提供一种可靠性好的MEMS麦克风。

为了实现上述目的，本实用新型技术提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置，所述背板的朝向所述振膜的一侧或所述振膜的朝向所述背板的一侧设有多个用于防止所述振膜振动时粘黏于所述背板的绝缘凸起，所述绝缘凸起包括与所述背板或所述振膜固定的固定端以及与所述固定端相对的接触端，所述接触端的中央部分较其周缘部分更靠近所述固定端。

优选的，所述绝缘凸起的所述接触端设有向所述固定端贯穿延伸的通孔。

优选的，所述绝缘凸起的所述接触端设有向所述固定端凹陷的凹槽。

优选的，所述绝缘凸起等间距分布于所述背板或所述振膜。

优选的，所述绝缘凸起为圆柱状或方柱状。

优选的，所述MEMS麦克风还包括固定于所述基底的支撑件，所述背板与所述振膜分别通过所述支撑件相对间隔固定于所述基底。

与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风通过改变绝缘凸起的结构，使其靠近所述接触端的中央部分较其周缘部分更靠近所述固定端，使得所述振膜与所述绝缘凸起之间的接触面积减小，从而进一步降低了所述振膜与所述绝缘凸起的粘黏力，有效避免了所述振膜与所述背板产生粘黏现象，进而提高了所述MEMS麦克风的可靠性。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：