[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201820171803.7 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN207911007U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 柏杨;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背板 振膜 固定端 本实用新型 电容系统 基底 绝缘 凸起 间隔设置 振膜振动 固定的 接触端 背腔 粘黏 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置，所述背板的朝向所述振膜的一侧或所述振膜的朝向所述背板的一侧设有多个用于防止所述振膜振动时粘黏于所述背板的绝缘凸起，其特征在于，所述绝缘凸起包括与所述背板或所述振膜固定的固定端以及与所述固定端相对的接触端，所述接触端的中央部分较其周缘部分更靠近所述固定端。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述绝缘凸起的所述接触端设有向所述固定端贯穿延伸的通孔。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述绝缘凸起的所述接触端设有向所述固定端凹陷的凹槽。
4.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述绝缘凸起等间距分布于所述背板或所述振膜。
5.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述绝缘凸起为圆柱状或方柱状。
6.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括固定于所述基底的支撑件，所述背板与所述振膜分别通过所述支撑件相对间隔固定于所述基底。
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