[实用新型]一种自动上下料系统

权利要求书

1.一种自动上下料系统，其特征在于，包括：

用于容置晶圆片的料盒(1)；

对所述料盒(1)起到承载作用的、驱动所述料盒(1)沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置(2)；

对所述驱动装置(2)起到承载作用的工作台(3)；

承载于所述工作台(3)上的、位于所述料盒(1)一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件(4)；

承载于所述工作台(3)且位于所述检测组件(4)一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台(5)；以及，

承载于所述工作台(3)上的、用于将所述料盒(1)中的所述晶圆片转移至所述检测组件(4)处进行定位处理后、将所述检测组件(4)上的所述晶圆片转移至所述载台(5)、并在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台(5)上的所述晶圆片转移至所述料盒(1)中的机械手装置(6)。

2.根据权利要求1所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述料盒(1)至少为两个。

3.根据权利要求2所述的一种自动上下料系统，其特征在于，

所述驱动装置(2)包括：

用于承载所述料盒(1)的承载板(21)；

装配于所述承载板(21)下方的、用于驱动所述承载板(21)沿水平方向移动的第一驱动组件(22)；以及，

装配于所述第一驱动组件(22)下方且承载于所述工作台(3)的、对所述第一驱动组件(22)起到承载作用且用于驱动所述第一驱动组件(22)升降的第二驱动组件(23)。

4.根据权利要求3所述的一种自动上下料系统，其特征在于，

所述第一驱动组件(22)包括：

设于所述承载板(21)下方的、供所述承载板(21)滑动的固定板(221)；

装配于所述承载板(21)朝向所述固定板(221)一侧的、供所述承载板(21)沿所述固定板(221)滑动的滑动块；

设于所述固定板(221)上的、供所述滑动块滑动的固定滑轨(222)；以及，

承载于所述固定板(221)上的、用于驱动所述承载板(21)在所述固定板(221)上滑动的滑动气缸(223)；

所述第二驱动组件(23)包括：

装配于所述固定板(221)下方的、对所述固定板(221)起到承载作用的升降板(231)；

承载于所述升降板(231)下端面且沿竖直方向设置的、穿设于所述工作台(3)的升降杆(232)；

承载于所述工作台(3)上的支架(233)；

装配于所述支架(233)上的、沿竖直方向设置的、用于驱动所述升降杆(232)进行升降的丝杆(234)；

固定于所述升降杆(232)下端的、与所述丝杆(234)相装配的、以用于带动所述升降杆(232)升降的螺母座(235)；以及，

承载于所述支架(233)上的、用于驱动所述丝杆(234)转动的升降电机(236)。

5.根据权利要求3所述的一种自动上下料系统，其特征在于，

所述上下料系统还包括：

承载于所述工作台(3)上、沿所述承载板(21)宽度方向两侧设置的、用于检测所述料盒(1)中是否存有所述晶圆片的对射传感器(7)；以及，

电连接于所述对射传感器(7)的、在所述对射传感器(7)的感应信号指示所述料盒(1)中存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置(6)拾取所述料盒(1)中的所述晶圆片、并在所述对射传感器(7)的电信号指示所述料盒(1)中未存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置(6)停止动作的控制器。