[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括与所述基底连接的背板以及与所述背板形成电容结构的振膜，所述背板包括背板本体以及由所述背板本体的两端朝向所述基底方向延伸的第一连接部，所述第一连接部和所述基底连接，所述振膜和所述背板本体连接。与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风，性能的一致性、稳定性和可靠性强。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种应用于移动电子设备的MEMS麦克风。

【背景技术】

近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)麦克风。MEMS麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。

相关技术的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板以及所述振膜分别与所述基底连接。电导通的所述背板和所述振膜通过绝缘的所述基底间隔设置，从而产生电容，进而通过所述振膜的振动实现声音信号向电信号的转变。

然而，随着器件的薄型化，在产品的装机过程中，封装结构容易因热应力、过盈装配、螺丝预紧力、卡扣装配等等原因发生形变。应变通过PCB、基底直接传递到振膜上，造成振膜应力的变化，甚至具有使所述振膜破裂的风险，从而影响振膜的顺性，造成麦克风灵敏度不可控的漂移。影响所述MEMS麦克风性能的一致性、稳定性以及可靠性。

因此，有必要提供一种新的MEMS麦克风以解决上述缺陷。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是克服上述技术问题，提供一种性能的一致性、稳定性以及可靠性强的MEMS麦克风。

为了实现上述目的，本实用新型技术提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括与所述基底连接的背板以及与所述背板形成电容结构的振膜，所述背板包括背板本体以及由所述背板本体的两端朝向所述基底方向延伸的第一连接部，所述第一连接部和所述基底连接，所述振膜和所述背板本体连接。

优选的，所述振膜收容于所述背腔内。

优选的，所述振膜位于所述背腔外。

优选的，所述振膜包括与所述背板本体间隔设置的振膜本体以及由所述振膜本体的两端向靠近所述背板本体方向弯折延伸的第二连接部，所述第二连接部和所述背板本体连接。

优选的，所述第二连接部为绝缘体。

优选的，所述第二连接部的长度小于所述第一连接部的长度。

优选的，所述第二连接部与所述振膜本体垂直设置。

与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风将所述振膜本体通过绝缘的所述第二连接部直接与所述背板本体连接，而不是直接与所述基底连接，使得所述MEMS麦克风因装配或者跌落等原因产生的应变不会通过所述基底直接传递至所述振膜，而是通过所述第一连接部释放。避免了所述振膜本体的顺性因应变而招到破坏，提升了所述MEMS麦克风的灵敏度，加强了所述MEMS麦克风性能的一致性、稳定性和可靠性。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：