[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201820167597.2 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN208158670U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张金宇 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04M1/03 | 分类号： | H04M1/03;H04R1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背板本体 背板 本实用新型 第一连接部 电容系统 基底连接 基底 振膜 电容结构 基底方向 背腔 延伸 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括与所述基底连接的背板以及与所述背板形成电容结构的振膜，其特征在于，所述背板包括背板本体以及由所述背板本体的两端朝向所述基底方向延伸的第一连接部，所述第一连接部和所述基底连接，所述振膜和所述背板本体连接。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜收容于所述背腔内。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜位于所述背腔外。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜包括与所述背板本体间隔设置的振膜本体以及由所述振膜本体的两端向靠近所述背板本体方向弯折延伸的第二连接部，所述第二连接部和所述背板本体连接。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二连接部为绝缘体。
6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二连接部的长度小于所述第一连接部的长度。
7.根据权利要求4至6任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二连接部与所述振膜本体垂直设置。
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