[实用新型]一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置有效

专利信息
申请号: 201820145550.6 申请日: 2018-01-29
公开(公告)号: CN208008947U 公开(公告)日: 2018-10-26
发明(设计)人: 王立;王震东;王剑宇;张思鸿 申请(专利权)人: 南昌大学
主分类号: C30B29/46 分类号: C30B29/46;C30B25/00
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 赵艾亮
地址: 330027 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 内管 反应腔体 格子支架 反应前驱体 独立空间 过渡金属硫属化合物 连续进样 实验装置 低温区 高温区 晶体的 生长 承载 化学气相沉积 本实用新型 磁性移动 左右移动 反应腔 前驱体 推动杆 异质结 左端 装配 分割 移动 保证
【权利要求书】:

1.一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,包含反应腔体,其特征在于所述反应腔体分为左右两部分,左边为低温区,右边为高温区,所述反应腔体低温区固定有格子支架,所述格子支架将反应腔体分成若干独立空间,所述格子支架上放置有内管,所述内管中承载有反应前驱体,所述内管左端通过推动杆固定连接有磁性移动器,所述内管可在格子支架上左右移动。

2.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述磁性移动器为永久磁铁。

3.根据权利要求2所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述磁性移动器靠近所述反应腔体内壁,所述反应腔体外壁通过外置磁铁与所述磁性移动器吸引。

4.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述反应腔体中由左往右持续通入载气。

5.根据权利要求4所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述载气为氩气或者氦气等惰性气体。

6.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述反应腔体高温区内设有基片,所述反应腔体高温区外围连接有加热装置。

7.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述反应腔体和所述格子支架为石英或者陶瓷材质。

8.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述内管由刚性且耐高温材料石英、刚玉或氧化锆加工而成。

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