[实用新型]一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置有效
申请号: | 201820145550.6 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN208008947U | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 王立;王震东;王剑宇;张思鸿 | 申请(专利权)人: | 南昌大学 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C30B25/00 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 赵艾亮 |
地址: | 330027 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内管 反应腔体 格子支架 反应前驱体 独立空间 过渡金属硫属化合物 连续进样 实验装置 低温区 高温区 晶体的 生长 承载 化学气相沉积 本实用新型 磁性移动 左右移动 反应腔 前驱体 推动杆 异质结 左端 装配 分割 移动 保证 | ||
1.一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,包含反应腔体,其特征在于所述反应腔体分为左右两部分,左边为低温区,右边为高温区,所述反应腔体低温区固定有格子支架,所述格子支架将反应腔体分成若干独立空间,所述格子支架上放置有内管,所述内管中承载有反应前驱体,所述内管左端通过推动杆固定连接有磁性移动器,所述内管可在格子支架上左右移动。
2.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述磁性移动器为永久磁铁。
3.根据权利要求2所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述磁性移动器靠近所述反应腔体内壁,所述反应腔体外壁通过外置磁铁与所述磁性移动器吸引。
4.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述反应腔体中由左往右持续通入载气。
5.根据权利要求4所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述载气为氩气或者氦气等惰性气体。
6.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述反应腔体高温区内设有基片,所述反应腔体高温区外围连接有加热装置。
7.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述反应腔体和所述格子支架为石英或者陶瓷材质。
8.根据权利要求1所述的一种可连续进样生长过渡金属硫属化合物晶体的实验装置,其特征在于所述内管由刚性且耐高温材料石英、刚玉或氧化锆加工而成。
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