[实用新型]一种厚度量测仪量测治具

权利要求书

1.一种厚度量测仪量测治具，其特征在于，包括支撑架，支撑架设置为环形，支撑架的中部设有晶圆孔，晶圆孔的孔径与晶圆的外径相匹配设置，晶圆孔内设置有至少两条平行的支撑筋，支撑筋的两端均与晶圆孔孔壁连为一体设置，所述支撑架的左侧和右侧均设置有定位凹槽，定位凹槽与量测台盘相对应设置。

2.根据权利要求1所述的一种厚度量测仪量测治具，其特征在于，所述量测台盘包括底座，底座上设有环形凸台，环形凸台上也设有定位凹槽一，环形凸台的中心孔内同轴设置有支撑环，支撑环的外径小于中心孔的孔径，支撑环外周与中心孔孔壁之间周向均布有至少4根连接杆，支撑环的上端面位于环形凸台上端面的下方。

3.根据权利要求2所述的一种厚度量测仪量测治具，其特征在于，所述支撑架的外径与环形凸台中心孔的孔径相匹配，支撑架同轴支撑在支撑环上。

4.根据权利要求3所述的一种厚度量测仪量测治具，其特征在于，所述晶圆下端面粘贴有合框胶带，合框胶带上粘贴有与晶圆同轴的环形外框，晶圆与环形外框均支撑在支撑架上，晶圆上端面与环形凸台上端面相齐平。

5.根据权利要求3所述的一种厚度量测仪量测治具，其特征在于，所述晶圆支撑在支撑架上，晶圆与晶圆孔同轴。