[实用新型]半导体引线键合工装夹具及其加热块结构有效
申请号: | 201820142282.2 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN207765419U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 卢红平;刘肖松;秦超奎;朱莉莉 | 申请(专利权)人: | 上海泰睿思微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/603 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人: | 汪家瀚 |
地址: | 201306 上海市浦东新区南*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热块 真空孔 顶面 支撑肋 键合 半导体引线 工装夹具 芯片引线 焊接区 成形 本实用新型 超声能量 顶端成形 顶面齐平 键合引线 一体成形 真空吸附 底面 焊线 良率 芯片 贯穿 支撑 | ||
1.一种半导体引线键合加热块结构,所述加热块具有相对的顶面及底面,所述加热块设有贯穿所述顶面及所述底面的真空孔;其特征在于:
所述加热块的顶面成形为平面;所述真空孔内部成形有支撑肋,所述支撑肋的顶端成形为缕空平面,所述缕空平面与加热块的顶面齐平连接。
2.根据权利要求1所述的半导体引线键合加热块结构,其特征在于:
所述支撑肋成形为截面呈十字形的条状支撑结构。
3.根据权利要求2所述的半导体引线键合加热块结构,其特征在于:
所述支撑肋成形有四个肋部,所述四个肋部成形为沿所述真空孔贯穿方向延伸的扁条状结构,所述肋部的一侧集中与其他肋部的一侧连接,另一侧与所述真空孔的孔壁连接。
4.根据权利要求1所述的半导体引线键合加热块结构,其特征在于:
所述支撑肋成形为截面呈一字形的条状支撑结构。
5.根据权利要求1所述的半导体引线键合加热块结构,其特征在于:
所述支撑肋成形为截面呈人字形的条状支撑结构。
6.根据权利要求5所述的半导体引线键合加热块结构,其特征在于:
所述支撑肋成形有三个肋部,所述三个肋部成形为沿所述真空孔贯穿方向延伸的扁条状结构,所述肋部的一侧集中与其他肋部的一侧连接,另一侧与所述真空孔的孔壁连接。
7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的半导体引线键合加热块结构,其特征在于:
所述支撑肋贯设形成所述加热块的真空孔。
8.一种半导体引线键合工装夹具,其用于键合引线框架及芯片,所述引线框架上设有芯片引线焊接区;其特征在于:所述工装夹具包括压板以及如权利要求1至4中任一权利要求所述的加热块,所述加热块的真空孔对应位于所述芯片引线焊接区下方。
9.根据权利要求8所述的半导体引线键合工装夹具,其特征在于:
所述压板成形有开窗部以及操作部;
所述加热块的真空孔包括对应于所述开窗部的第一真空孔以及对应于所述操作部的第二真空孔,所述第一真空孔内部设有所述支撑肋,所述第二真空孔内部完全中空无支撑结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造