[实用新型]一种应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线有效
申请号: | 201820138785.2 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN208038545U | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 陈金成;刘俊;卿新卫 | 申请(专利权)人: | 珠海市斗门区鸿茂玻璃有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 519000 广东省珠*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低真空室 高真空室 本实用新型 玻璃制品 抽真空器 磁控镀膜 隔离通道 输送装置 真空腔室 抽风器 镀膜室 应用 室内 玻璃输送通道 磁控溅射靶 加热装置 陶瓷输送 真空环境 输送辊 真空腔 镀膜 下端 变形 分割 | ||
1.一种应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线,包括输送装置(1),所述输送装置(1)上设置有真空腔室(2),其特征在于:所述真空腔室(2)内设置有四个隔离通道(3),所述隔离通道(3)上均设置有玻璃输送通道,四个所述隔离通道(3)将所述真空腔室(2)依次分割成第一低真空室(4)、第一高真空室(5)、镀膜室(6)、第二高真空室(7)和第二低真空室(8),所述镀膜室(6)内设置有磁控溅射靶,所述输送装置(1)上的输送辊为陶瓷输送辊(9),所述第一低真空室(4)和所述第二低真空室(8)的两端分别设置有第一抽真空器(10)和第一抽风器(11),所述第一高真空室(5)和所述第二高真空室(7)及所述镀膜室(6)的两端分别设置有第二抽真空器(12)和第二抽风器(13),所述第二抽真空器(12)的下端设置有加热装置。
2.根据权利要求1所述的一种应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线,其特征在于:所述加热装置为电炉。
3.根据权利要求1所述的一种应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线,其特征在于:所述镀膜室(6)上设置有镀膜观察窗。
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