[实用新型]一种磁控溅射设备的多层样品架有效
| 申请号： | 201820116823.4 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN208532922U | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张振健;陈显锋 | 申请（专利权）人： | 佛山市卓膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文 |
| 地址： | 528251 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 螺丝 双头螺丝 装片 底部层 顶部层 磁控溅射设备 同一直线 样品架 多层 本实用新型 托盘 螺丝孔 内螺纹 层片 螺口 送样 圆环 平行 开口 平整 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射设备的多层样品架，其特征在于，包括多个装片层、顶部层和底部层，所述顶部层和底部层分别设置有四个内螺纹的第一螺口；所述装片层设置有四个螺丝孔，且每层之间通过四根双头螺丝连接；四根双头螺丝分别为第一螺丝、第二螺丝、第三螺丝和第四螺丝，所述第一螺丝与第二螺丝平行，且第一螺丝与第四螺丝在同一直线上，所述第二螺丝与第三螺丝在同一直线上；所述装片层设置有开口；所述顶部层通过双头螺丝安装在对顶部的装片层上，所述底部层通过双头螺丝安装在底部的装片层下面；所述第一螺丝与第二螺丝的距离大于送样托盘的直径。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的多层样品架，其特征在于，所述装片层设置有用于放置送样托盘的凹槽。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的多层样品架，其特征在于，所述底部层的底部设置有与支撑架相匹配的圆孔。
4.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的多层样品架，其特征在于，所述装片层的数量为2片、3片、4片或者5片。
5.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的多层样品架，其特征在于，所述顶部层和底部层呈平整的圆环状。
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