[实用新型]一种等离子刻蚀机高效率装置有效
| 申请号： | 201820104562.4 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN207719137U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 郑先磊;李智勇 | 申请（专利权）人： | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 223001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮气 等离子刻蚀机 高效率装置 气体控制器 冷却系统 本实用新型 箱体上表面 风冷装置 换气装置 控制箱体 氮气罐 进气孔 真空泵 分筛 氮气管道 工作效率 可伸缩式 刻蚀技术 箱体结构 下表面 修正板 产能 均布 气路 送入 计算机 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子刻蚀机高效率装置，其特征在于，所述的等离子刻蚀机高效率装置主体为箱体结构，包括风冷装置和换气装置两部分；
所述的风冷装置进一步包含冷却系统(1)、气体控制器(2)和气路分筛(3)，所述的冷却系统(1)和气体控制器(2)均连接计算机，位于箱体内，冷却系统(1)用于控制箱体内的温度，气体控制器(2)用于控制箱体内的氮气的浓度；箱体下表面均布有多个气路分筛(3)，箱体上表面设有进气孔；
所述的换气装置进一步包括氮气罐(5)和真空泵(6)，真空泵(6)用于控制氮气罐(5)；氮气罐(5)内的氮气通过氮气管道(4)从箱体上表面的进气孔送入至箱体内。
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