[实用新型]气体激光装置有效
申请号: | 201820101827.5 | 申请日: | 2018-01-22 |
公开(公告)号: | CN207925886U | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 都丸仁;奈良久 | 申请(专利权)人: | 极光先进雷射株式会社 |
主分类号: | H01S3/02 | 分类号: | H01S3/02;H01S3/034 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光介质气体 排出 腔室 气体激光装置 第二排气口 口径 本实用新型 第一排气口 钝化过程 维修 大口径 收容 | ||
1.一种气体激光装置,其特征在于,所述气体激光装置包括:
腔室,其内部收容有激光介质气体;
第一排气口,其具有第一口径,从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体;以及
第二排气口,其具有比所述第一口径大的第二口径,从所述腔室排出至少一部分所述激光介质气体。
2.根据权利要求1所述的气体激光装置,其中,所述气体激光装置还包括:
激光框架,其收容所述腔室。
3.根据权利要求2所述的气体激光装置,其中,所述激光框架具有维修面;所述激光框架构成为通过使所述维修面打开而引导出所述腔室。
4.根据权利要求3所述的气体激光装置,其中,所述第一排气口被设置在所述腔室的靠近所述维修面的第一侧。
5.根据权利要求1所述的气体激光装置,其中,所述第二排气口被设置在所述腔室的与设置有所述第一排气口的第一侧相反的第二侧。
6.根据权利要求1所述的气体激光装置,其中,所述气体激光装置还包括:
排气设备,其在所述气体激光装置工作时通过第一排气阀和第一排气管道与所述第一排气口连接;在所述气体激光装置维修时通过第二排气阀和第二排气管道与所述第二排气口连接。
7.根据权利要求1所述的气体激光装置,其中,所述气体激光装置还包括:
供气口,其向所述腔室提供所述激光介质气体。
8.根据权利要求7所述的气体激光装置,其中,所述气体激光装置还包括:
供气设备,其通过供气阀和供气管道与所述供气口连接。
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