[实用新型]一种真空热处理炉上的正压压力控制系统有效
| 申请号： | 201820095768.5 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207831907U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/05 | 分类号： | F27B5/05;F27B5/06;F27B5/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力控制系统 正压 真空热处理炉 反应腔 本实用新型 出气系统 工控系统 气体压力 恒定 热处理环境 压力传感器 供气系统 进气系统 外部设置 温度环境 下反应腔 充气阀 内压力 温度段 下压力 泄压阀 有压力 传感器 可控 生产成本 合格率 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空热处理炉上的正压压力控制系统，与真空热处理炉相对应，所述真空热处理炉上包括反应腔，正压压力控制系统，工控系统，其特征在于：所述正压压力控制系统包括包括供气系统和出气系统；所述反应腔外部设置有压力传感器；所述工控系统与正压压力控制系统，压力传感器连接进行反应腔内压力的控制。
2.根据权利要求1所述的一种真空热处理炉上的正压压力控制系统，其特征在于：所述供气系统和反应腔连接，供气系统上依次设置有过滤器、减压器、充气阀、手动调节阀。
3.根据权利要求1所述的一种真空热处理炉上的正压压力控制系统，其特征在于：所述出气系统和反应腔连接，出气系统上依次设置有过滤器、排气阀、泄压阀、手动调节阀、单向阀。
4.根据权利要求1所述的一种真空热处理炉上的正压压力控制系统，其特征在于：所述工控系统包括工控机，工控机通过信号控制线与正压压力控制系统的充气阀和排气阀连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空热处理炉上的正压压力控制系统，其特征在于：所述反应腔上设置有压力传感器，压力传感器通过信号线将压力测量值实时反馈到工控系统。
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