[实用新型]一种真空烧结炉上的加热体装置有效
申请号: | 201820095761.3 | 申请日: | 2018-01-21 |
公开(公告)号: | CN207831906U | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 刘洋 | 申请(专利权)人: | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
主分类号: | F27B5/05 | 分类号: | F27B5/05;F27B5/14;F27D11/02 |
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地址: | 266000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热元件 加热体装置 真空烧结炉 本实用新型 保温层 引线板 散热 设备生产效率 发热量 工艺周期 加热装置 降低设备 外部电源 温度恒定 依次设置 运行成本 耗电量 加热体 引出端 炉丝 加热 体内 穿过 外部 | ||
本实用新型公开了一种真空烧结炉上的加热体装置,包括自上而下依次设置在真空烧结炉加热体装置内的第一加热元件、第二加热元件、第三加热元件、第四加热元件,以及加热元件外部的保温层和外壳;所述第一加热元件、第二加热元件、第三加热元件和第四加热元件的引出端共同连接有引线板,引线板穿过保温层及外壳与外部电源连接。本实用新型设计合理,能够提高升温速度,减短工艺周期,从而提高设备生产效率,大大降低生产成本,维持较低的耗电量,降低设备运行成本,下部加热装置的炉丝的丝径增大且位于加热体底部散热快的位置,提高此位置的发热量,弥补此位置的散热,有助于保障加热体内的温度恒定,实用性强,适于推广。
技术领域
本实用新型属于一种磁性材料、半导体材料、功能材料等电子材料精密热处理设备领域,尤其是真空烧结热处理炉上的加热体装置。
背景技术
电子材料、磁性材料、功能材料的烧结工艺过程是在恒温、高均匀性状态下进行烧结等精密热处理工艺,故提高加热体的功率可更快的达到高温,更好的保证温区的均匀性、稳定性,而且缩短工艺耗时,提高生产效率。现有技术的加热体因底部功率小且接触环境温度,导致加热体上下升温速率不均匀,温区均匀性欠缺,在烧结生产中耗费大量的时间,人工成本高,效率较低。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供了一种真空烧结炉上的加热体装置,设计合理,能够提高升温速度,减短工艺周期,从而提高设备生产效率,大大降低生产成本,维持较低的耗电量,降低设备运行成本,下部加热装置的炉丝的丝径增大且位于加热体底部散热快的位置,提高此位置的发热量,弥补此位置的散热,有助于保障加热体内的温度恒定,实用性强,适于推广。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:
一种真空烧结炉上的加热体装置,与真空烧结炉相对应,其特征在于:包括自上而下依次设置在真空烧结炉加热体装置内的第一加热元件、第二加热元件、第三加热元件、第四加热元件,以及加热元件外部的保温层和外壳;所述第一加热元件、第二加热元件、第三加热元件和第四加热元件的引出端共同连接有引线板,引线板穿过保温层及外壳与外部电源连接。
作为一种优化的技术方案,所述第一加热元件、第二加热元件、第三加热元件和第四加热元件均是由铁铬铝电阻加热丝螺旋绕制而成,各加热元件加热丝之间通过绝缘支撑件固定。
作为一种优化的技术方案,所述第一加热元件中的炉丝的丝径为6-8mm,内径为200-500mm,圈数为20±10圈;所述第二加热元件中的炉丝的丝径为 6-8mm,内径为200-500mm,圈数为35±10圈。
作为一种优化的技术方案,所述第三加热元件中的炉丝的丝径为8-12mm,内径为200-500mm,圈数为20±10圈;所述第四加热元件中的炉丝的丝径为 8-12mm,内径为200-500mm,圈数为20±10圈。
作为一种优化的技术方案,所述加热元件外部的保温层为耐火纤维制品,厚度为50~150mm。
作为一种优化的技术方案,所述引线板连接加热元件引出端,相邻两个加热元件的引出端共用一个引线板。。
由于采用了上述技术方案,与现有技术相比,本实用新型设计合理,能够提高升温速度,减短工艺周期,从而提高设备生产效率,大大降低生产成本,维持较低的耗电量,降低设备运行成本,下部加热装置的炉丝的丝径增大且位于加热体底部散热快的位置,提高此位置的发热量,弥补此位置的散热,有助于保障加热体内的温度恒定,实用性强,适于推广。
参照附图和实施例对本实用新型做进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型一种实施例的截面结构示意图;
图2为本实用新型一种实施例的A处放大示意图;
具体实施方式
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