[实用新型]一种真空烧结炉上的加热体装置有效

专利信息
申请号: 201820095761.3 申请日: 2018-01-21
公开(公告)号: CN207831906U 公开(公告)日: 2018-09-07
发明(设计)人: 刘洋 申请(专利权)人: 青岛精诚华旗微电子设备有限公司
主分类号: F27B5/05 分类号: F27B5/05;F27B5/14;F27D11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 加热元件 加热体装置 真空烧结炉 本实用新型 保温层 引线板 散热 设备生产效率 发热量 工艺周期 加热装置 降低设备 外部电源 温度恒定 依次设置 运行成本 耗电量 加热体 引出端 炉丝 加热 体内 穿过 外部
【权利要求书】:

1.一种真空烧结炉上的加热体装置,与真空烧结炉相对应,其特征在于:包括自上而下依次设置在真空烧结炉加热体装置内的第一加热元件、第二加热元件、第三加热元件、第四加热元件,以及加热元件外部的保温层和外壳;所述第一加热元件、第二加热元件、第三加热元件和第四加热元件的引出端共同连接有引线板,引线板穿过保温层及外壳与外部电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空烧结炉上的加热体装置,其特征在于:所述第一加热元件、第二加热元件、第三加热元件和第四加热元件均是由铁铬铝电阻加热丝螺旋绕制而成,各加热元件加热丝之间通过绝缘支撑件固定。

3.根据权利要求1所述的一种真空烧结炉上的加热体装置,其特征在于:所述第一加热元件中的炉丝的丝径为6-8mm,内径为200-500mm,圈数为20±10圈;所述第二加热元件中的炉丝的丝径为6-8mm,内径为200-500mm,圈数为35±10圈。

4.根据权利要求1所述的一种真空烧结炉上的加热体装置,其特征在于:所述第三加热元件中的炉丝的丝径为8-12mm,内径为200-500mm,圈数为20±10圈;所述第四加热元件中的炉丝的丝径为8-12mm,内径为200-500mm,圈数为20±10圈。

5.根据权利要求1所述的一种真空烧结炉上的加热体装置,其特征在于:所述加热元件外部的保温层为耐火纤维制品,厚度为50~150mm。

6.根据权利要求1所述的一种真空烧结炉上的加热体装置,其特征在于:所述引线板连接加热元件引出端,相邻两个加热元件的引出端共用一个引线板。

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