[实用新型]高精度半导体设备用高纯氧化铝精密陶瓷零件

说明书

本实用新型涉及陶瓷零件技术领域，且公开了一种高精度半导体设备用高纯氧化铝精密陶瓷零件，包括底部陶瓷密封环，所述底部陶瓷密封环的顶部固定连接有底部固定环，所述底部固定环的顶部固定连接有底座，所述底座的远离底部固定环的一端固定连接有弹簧，所述弹簧远离底座的一端固定连接有顶座，所述顶座远离弹簧的一端固定连接有顶部固定环。该高精度半导体设备用高纯氧化铝精密陶瓷零件，通过底部固定环、底座、弹簧、顶座以及顶部固定环之间的配合，弹簧可以帮底部陶瓷密封环以及顶部陶瓷密封环分担较多的力，从而保证底部陶瓷密封环以及顶部陶瓷密封环不会受到较大的压力，提高底部陶瓷密封环以及顶部陶瓷密封环的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及陶瓷零件技术领域，具体为一种高精度半导体设备用高纯氧化铝精密陶瓷零件。

背景技术

陶瓷零件也就是陶瓷配件，陶瓷配件，是指用特种陶瓷材料经过混料、成型、烧结以及加工工序制成的机械零部件，使用较多的陶瓷配件为陶瓷密封圈。

陶瓷密封圈采用先进的热硫化工艺将特种氧化铝刚玉耐磨陶瓷按照一定的布局硫化在特种橡胶内，这种结构既发挥了氧化铝陶瓷耐高温磨损、耐腐蚀性能，又发挥了橡胶材料高强度、高韧性和密封性好的特点，但是当陶瓷密封圈受到较大的压力后，陶瓷密封圈容易变形，这样会影响陶瓷密封圈密封效果，从而影响陶瓷密封圈的使用寿命。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高精度半导体设备用高纯氧化铝精密陶瓷零件，具备可以降低陶瓷密封圈受到的压力，提高陶瓷密封圈的使用寿命等优点，解决了陶瓷密封圈容易变形，影响其使用寿命的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高精度半导体设备用高纯氧化铝精密陶瓷零件，包括底部陶瓷密封环，所述底部陶瓷密封环的顶部固定连接有底部固定环，所述底部固定环的顶部固定连接有底座，所述底座的远离底部固定环的一端固定连接有弹簧，所述弹簧远离底座的一端固定连接有顶座，所述顶座远离弹簧的一端固定连接有顶部固定环，所述顶部固定环远离顶座的一端固定连接有顶部陶瓷密封环，所述顶部固定环底部的外侧固定连接有第一密封囊，所述第一密封囊远离顶部固定环的一端固定连接在底部固定环顶部的外侧，所述底部固定环顶部的内侧固定连接有第二密封囊，所述第二密封囊远离底部固定环的一端固定连接在顶部固定环底部的内侧。

优选的，所述底座的顶部固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有圆环柱，所述圆环柱的内部活动套接有活动柱，所述活动柱的顶部固定连接在顶座的底部，所述固定板、圆环柱以及活动柱均位于弹簧的内部。

优选的，所述固定板顶部的中部固定连接有拉线，所述拉线远离固定板的一端固定连接在活动柱底部的中部。

优选的，所述圆环柱的内部开设有固定槽，所述固定槽的内部固定连接有转轴，所述转轴的外部活动套接有滚轮，所述滚轮的外壁与活动柱的外壁相贴合。

优选的，所述转轴与滚轮的连接处设置有轴承，所述轴承固定连接在滚轮的内部。

优选的，所述底部陶瓷密封环、底部固定环、顶部固定环以及顶部陶瓷密封环的大小形状一致。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种高精度半导体设备用高纯氧化铝精密陶瓷零件，具备以下有益效果：

1、该高精度半导体设备用高纯氧化铝精密陶瓷零件，通过底部固定环、底座、弹簧、顶座以及顶部固定环之间的配合，弹簧可以帮底部陶瓷密封环以及顶部陶瓷密封环分担较多的力，从而保证底部陶瓷密封环以及顶部陶瓷密封环不会受到较大的压力，从而减少底部陶瓷密封环以及顶部陶瓷密封环的磨损，提高底部陶瓷密封环以及顶部陶瓷密封环的使用寿命。