[实用新型]一种防撞提篮有效
| 申请号: | 201820074107.4 | 申请日: | 2018-01-17 |
| 公开(公告)号: | CN207719166U | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
| 发明(设计)人: | 张浩;陈志远;朱锦键;聂伟;万伂芯 | 申请(专利权)人: | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
| 地址: | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 右侧板 左侧板 晶元 弧形把手 提篮 背板 底板 本实用新型 固定轴 前挡板 移动板 导轨 防撞 从上到下 互相平行 滑动连接 间距相等 晶圆凹槽 竖直设置 转动连接 朝外 治具 进口 半导体 垂直 | ||
1.一种防撞提篮,其特征在于,包括互相对应设置的左侧板和右侧板,左侧板和右侧板之间设有顶板、底板和背板,顶板和底板互相平行,背板与顶板相垂直,与背板相对的一侧为晶元进口,所述左侧板和右侧板朝内的一侧均设置有若干从上到下依次分布的晶元凹槽,相邻晶圆凹槽之间的间距相等,所述左侧板和右侧板朝外的一侧均设有至少两条导轨,所述导轨上滑动连接有移动板,移动板靠近晶元进口的一侧竖直设置有固定轴,固定轴上转动连接有弧形把手,弧形把手上固定有与弧形把手连为一体的前挡板,靠近所述左侧板和靠近所述右侧板的前挡板互相对应设置。
2.根据权利要求1所述的一种防撞提篮,其特征在于,所述晶元凹槽为梯形,晶元凹槽内壁设有一层用海绵制成的缓冲层。
3.根据权利要求1或2所述的一种防撞提篮,其特征在于,两个前挡板的大小和形状相同,弧形把手可以转动到前挡板与左侧板相平行的位置。
4.根据权利要求1或2所述的一种防撞提篮,其特征在于,所述顶板位于左侧板顶部表面的下方,顶板上设有至少两条加强筋,加强筋与左侧板相垂直,加强筋上转动连接有两个互相对应的移动把手,移动把手内侧设有与人手相匹配的抓卧槽。
5.根据权利要求4所述的一种防撞提篮,其特征在于,所述顶板靠近晶元进口的边缘设有抓取槽,靠近抓取槽的右侧板顶部设有抓握把手。
6.根据权利要求1或2所述的一种防撞提篮,其特征在于,所述底板由板体一和板体二组成,板体一和板体二之间经撑杆分隔开,板体一的前部和后部均设有观察槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





