[实用新型]一种硅片装片机用翻转模组

说明书

本实用新型涉及一种硅片装片机用翻转模组。当前，企业主要采用电机旋转的方式进行翻转，这种方式翻转效率低，可靠性太低，容易发生故障，容易损坏片篮，并且因为各种片篮的外形尺寸都不一样，所以各种翻转装置都不能通用。本实用新型涉及一种硅片装片机用翻转模组，其中：连接座、第一安装座通过螺栓安装于装片机机架上，笔形气缸安装于连接座上，并通过圆柱销与连接座活动连接，笔形气缸内的活塞杆通过圆柱销与翻转板活动连接。本装置特殊结构的翻转装置实现对满篮硅片的片篮进行翻转，使片篮翻转更平稳、更可靠、更高效。保证片篮能快速平稳的翻转到所需平面。

技术领域

本实用新型涉及硅片装片机技术领域，尤其是一种硅片装片机用翻转模组。

背景技术

在硅片清洗的过程中，要对硅片进行分片、装片，硅片分片装片之后，由于片篮是竖直状态的，所以都需要一个翻转的动作。当前，企业主要采用电机旋转的方式进行翻转，这种方式翻转效率低，可靠性太低，容易发生故障，容易损坏片篮，并且因为各种片篮的外形尺寸都不一样，所以各种翻转装置都不能通用，每一台硅片装片机，都需要设计一种翻转装置，既费时、又费力，还不可靠，并且对片篮的进入姿态有很高的要求，所以在实际运行的过程中会产生很多的障碍。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片装片机用翻转模组，为克服上述的不足，采用特殊结构的翻转装置实现对满篮硅片的片篮进行翻转，使片篮翻转更平稳、更可靠、更高效。保证片篮能快速平稳的翻转到所需平面。

为了解决上述问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种硅片装片机用翻转模组，包括装片机机架、连接座、笔型气缸、氮气弹簧、第一安装座、第一旋转轴、第二旋转轴、翻转板、旋转安装板、支撑座、第二安装座、摆动气缸、联轴器、第一气缸、连接板、直线轴承；其中：连接座、第一安装座通过螺栓安装于装片机机架上，笔形气缸安装于连接座上，并通过圆柱销与连接座活动连接，笔形气缸内的活塞杆通过圆柱销与翻转板活动连接，两个氮气弹簧安装与连接座上，并通过圆柱销与连接座活动连接，氮气弹簧的末端通过圆柱销与翻转板活动连接，两个氮气弹簧设置于笔型气缸两侧，翻转板通过第一旋转轴与第一安装座活动连接，翻转板上安装有第二安装座，第二安装座安装于翻转板上，摆动气缸安装于第二安装座上，支撑座安装于翻转板上，支撑座与第二旋转轴活动连接，第二旋转轴一端通过联轴器与摆动气缸连接，其另一端与旋转安装板连接，连接板、直线轴承固定于旋转安装板上，第一气缸固定于连接板上，导向板固定于旋转安装板上，连接块安装于旋转安装板上，第二气缸安装于旋转安装板上，挡块固定于直线导轨，旋转安装板通过角接触球轴承与支撑轴活动连接，支撑轴端部安装于翻转板上，定位轴通过直线轴承与连接板连接，输送机构安装于旋转安装板上，挡块上安装有光电传感器。

一种硅片装片机用翻转模组，所述输送机构包括安装板、步进电机、第三旋转轴、平带、从动轮、张紧轮、主动轮、调整块、支架，其中：步进电机安装与安装板上，步进电机与主动轮同轴连接，从动轮、张紧轮、主动轮安装于安装板上，主动轮通过平带与从动轮、张紧轮连接，从动轮通过第三旋转轴与安装板活动连接，调整块安装于安装板上，调整块底部通过支架安装于安装板上。

一种硅片装片机用翻转模组，其中：所述第一安装座和旋转安装板上安装有油压缓冲器。

一种硅片装片机用翻转模组，其中：所述旋转安装板上安装有花篮。

本实用新型的优点在于：本装置采用特殊结构的翻转装置实现对满篮硅片的片篮进行翻转，使片篮翻转更平稳、更可靠、更高效。保证片篮能快速平稳的翻转到所需平面。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型中的旋转安装板结构示意图。

图3为本实用新型中的输送机构结构示意图。