[实用新型]一种硅片装片机用翻转模组

权利要求书

1.一种硅片装片机用翻转模组，包括装片机机架（1）、连接座（2）、笔型气缸（3）、氮气弹簧（4）、第一安装座（5）、第一旋转轴（6）、第二旋转轴（7）、翻转板（8）、旋转安装板（9）、支撑座（10）、第二安装座（11）、摆动气缸（12）、联轴器（13）、第一气缸（14）、连接板（15）、直线轴承（16）；其特征在于：连接座（2）、第一安装座（5）通过螺栓安装于装片机机架（1）上，笔形气缸（3）安装于连接座（2）上，并通过圆柱销与连接座（2）活动连接，笔形气缸（3）内的活塞杆通过圆柱销与翻转板（8）活动连接，两个氮气弹簧（4）安装与连接座（2）上，并通过圆柱销与连接座（2）活动连接，氮气弹簧（4）的末端通过圆柱销与翻转板（8）活动连接，两个氮气弹簧（4）设置于笔型气缸（3）两侧，翻转板（8）通过第一旋转轴（6）与第一安装座（5）活动连接，翻转板（8）上安装有第二安装座（11），第二安装座（11）安装于翻转板（8）上，摆动气缸（12）安装于第二安装座（11）上，支撑座（10）安装于翻转板（8）上，支撑座（10）与第二旋转轴（7）活动连接，第二旋转轴（7）一端通过联轴器（13）与摆动气缸（12）连接，其另一端与旋转安装板（9）连接，连接板（15）、直线轴承（16）固定于旋转安装板（9）上，第一气缸（14）固定于连接板（15）上，导向板（18）固定于旋转安装板（9）上，连接块（19）安装于旋转安装板（9）上，第二气缸（20）安装于旋转安装板（9）上，挡块（21）固定于直线导轨（26），旋转安装板（9）通过角接触球轴承（22）与支撑轴（27）活动连接，支撑轴（27）端部安装于翻转板（8）上，定位轴（25）通过直线轴承（16）与连接板（15）连接，输送机构（24）安装于旋转安装板（9）上，挡块（21）上安装有光电传感器（28）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片装片机用翻转模组，所述输送机构（24）包括安装板（2401）、步进电机（2402）、第三旋转轴（2403）、平带（2404）、从动轮（2405）、张紧轮（2406）、主动轮（2407）、调整块（2408）、支架（2409），其特征在于：步进电机（2402）安装与安装板（2401）上，步进电机（2402）与主动轮（2407）同轴连接，从动轮（2405）、张紧轮（2406）、主动轮（2407）安装于安装板（2401）上，主动轮（2407）通过平带（2404）与从动轮（2405）、张紧轮（2406）连接，从动轮（2405）通过第三旋转轴（2403）与安装板（2401）活动连接，调整块（2408）安装于安装板（2401）上，调整块（2408）底部通过支架（2409）安装于安装板（2401）上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片装片机用翻转模组，其特征在于：所述第一安装座（5）和旋转安装板（9）上安装有油压缓冲器（23）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片装片机用翻转模组，其特征在于：所述旋转安装板（9）上安装有花篮（17）。