[实用新型]一种基板搬运装置

权利要求书

1.一种基板搬运装置，其特征在于：包括固定臂（1）、伸缩臂（2）、一组吸盘（3）和固定滑块（4），所述固定滑块（4）套设在固定臂（1）的外壁上，所述伸缩臂（2）固定在固定滑块（4）上，所述一组吸盘（3）设置于伸缩臂（2）上。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于：所述固定臂（1）上设有刻度尺（5）。

3.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于：所述固定滑块（4）的截面为矩形，并且固定滑块（4）上设有一组紧固旋钮（6）。

4.根据权利要求3所述的基板搬运装置，其特征在于：所述固定臂（1）上至少设有2个固定滑块（4）。

5.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于：所述伸缩臂（2）包括第一连杆（7）和第二连杆（8），所述第一连杆（7）和第二连杆（8）之间相互铰接，所述吸盘（3）设置在第一连杆（7）上。

6.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于：所述固定臂（1）上还设有固定连接板（14），所述固定连接板（14）与固定臂（1）的两个端部固定连接，并且中间形成开口（9）。

7.根据权利要求6所述的基板搬运装置，其特征在于：所述基板搬运装置还包括机座（10）和立柱（11），所述立柱（11）设置于机座（10）的上端面上，所述立柱（11）的上端部与固定连接板（14）连接。

8.根据权利要求7所述的基板搬运装置，其特征在于：所述立柱（11）的截面为L型。

9.根据权利要求8所述的基板搬运装置，其特征在于：所述机座（10）内设有驱动电机（12），所述驱动电机（12）与立柱（11）连接。