[实用新型]单腔循环连续式类金刚石涂层装置

说明书

本实用涉及一种单腔循环连续式类金刚石涂层装置，包括主腔体、主真空系统及类金刚石涂层工艺组件，主腔体设置有主腔室，主真空系统将主腔室进行真空处理，主腔体还设置有可开合的进料口，还包括转盘、转盘升降机构、转盘转动机构、进料腔室、类金刚石涂层工艺腔室及进料子腔室真空系统，转盘转动机构驱动转盘水平转动，将待镀工件在进料腔室及类金刚石涂层工艺腔室之间传递，转盘升降机构驱动转盘升降，将进料腔室及类金刚石涂层工艺腔室在与主腔室联通的状态及独立真空腔室的状态之间切换，进料子腔室真空系统安装于主腔体并将进料腔室进行真空处理。采用上述方案，本实用提供一种可在一个真空腔内实现低成本的环形循环连续式类金刚石涂层制备。

技术领域

本实用属于真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种单腔循环连续式类金刚石涂层装置。

背景技术

固体材料的摩擦磨损普遍存在于生产和生活的各个领域中，凡是相对运动的部件都存在着摩擦磨损。国内外的统计资料显示，由摩擦而导致消耗掉的能源占全世界1/3一次能源，约有80％的机械零部件因为不断的磨损而最终失效，约有50％以上的机械装备恶性事故发生是起因于润滑失效和过度磨损。材料表面的物理、化学和力学性质对材料的摩擦学性能产生重要的影响。将固体材料表面进行预处理后，再经过表面涂覆、表面改性或多种表面工程技术复合处理，改变固体表面的形态、化学成分、组织结构、机械强度和应力状态等，可以获得更好的力学与摩擦学性能。尤其，在表面工程技术中将薄膜材料应用于固体块状材料的减摩抗磨取得了许多重要的工业应用价值。因此，降低摩擦磨损的损耗，积极开发及使用新型的减摩抗磨润滑薄膜材料具有极其重要的价值和意义。

类金刚石薄膜(Diamond-like carbon film)由于具有许多优异的物理、化学性能，如高硬度、低摩擦系数、优良的耐磨性、高介电常数、高击穿电压、宽带隙、化学惰性和生物相容性等。经过多年的发展，DLC薄膜在很多领域的应用也已进入实用和工业化生产阶段。

现有的真空镀膜设备按照真空设备中真空腔的数目可分为单体式镀膜机及连续式镀膜设备。

现有技术中的类金刚石涂层制备装置主要为单体式镀膜机，其生产过程的工艺稳定性，生产效率低、人力成本高；而连续式真空镀膜设备结构复杂，多个独立的镀膜腔需要配置多个高真空泵组，大量闸门的使用，增加了生产成本、生产时间、生产空间，复杂的设备增加了待镀工件传动的难度，多个腔体的存在也使增加了生产过程中故障维修的难度和成本，连续式镀膜设备的高门槛大大提高了企业的使用成本；对于一些小尺寸的工件，连续式加工需要大量的人力装、卸载，很难实现连续化生产。对于一些多面、异形的产品(如铣刀、汽车耐磨关键零部件)设计能够实现自转的特种镀膜设备时，受真空门阀高成本及大型翻板阀或插板阀难加工、传动过程的复杂、生产成本的限制，很难设计生产出能够实用的量产机。目前尚未有连续式类金刚石涂层设备。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用的目的在于提供一种可在一个真空腔内实现对产品环形循环连续式镀膜生产的低成本类金刚石涂层装置。