[实用新型]新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板有效
申请号: | 201820025241.5 | 申请日: | 2018-01-08 |
公开(公告)号: | CN207738890U | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 刘立中;巢芳家;熊涛涛;李子龙 | 申请(专利权)人: | 内蒙古上航新能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/04 | 分类号: | C30B28/04;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 014100 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导热板 石墨底板 散热通孔 石英坩埚 限位凹槽 多晶硅铸锭炉 导热 底板 本实用新型 复合石墨 均布 晶体生长过程 晶锭头部 晶体尾部 晶体转换 热交换区 少子寿命 铸锭过程 热应力 铸锭炉 传递 顶面 少子 位错 | ||
【权利要求书】:
1.新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板,其包括石墨底板,其特征在于,所述石墨底板顶面设有限位凹槽,所述限位凹槽内设有导热板,所述导热板下方的所述石墨底板上均布有散热通孔。
2.根据权利要求1所述的新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板,其特征在于,所述导热板的长度为900~1110mm、宽度为900~1110mm、厚度为5~10mm。
3.根据权利要求1或2任一所述的新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板,其特征在于,所述导热板为碳纤维薄板或碳化硅薄板中的任意一种。
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