[实用新型]新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板有效

专利信息
申请号: 201820025241.5 申请日: 2018-01-08
公开(公告)号: CN207738890U 公开(公告)日: 2018-08-17
发明(设计)人: 刘立中;巢芳家;熊涛涛;李子龙 申请(专利权)人: 内蒙古上航新能源有限公司
主分类号: C30B28/04 分类号: C30B28/04;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 014100 内蒙古自治*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 导热板 石墨底板 散热通孔 石英坩埚 限位凹槽 多晶硅铸锭炉 导热 底板 本实用新型 复合石墨 均布 晶体生长过程 晶锭头部 晶体尾部 晶体转换 热交换区 少子寿命 铸锭过程 热应力 铸锭炉 传递 顶面 少子 位错
【权利要求书】:

1.新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板,其包括石墨底板,其特征在于,所述石墨底板顶面设有限位凹槽,所述限位凹槽内设有导热板,所述导热板下方的所述石墨底板上均布有散热通孔。

2.根据权利要求1所述的新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板,其特征在于,所述导热板的长度为900~1110mm、宽度为900~1110mm、厚度为5~10mm。

3.根据权利要求1或2任一所述的新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板,其特征在于,所述导热板为碳纤维薄板或碳化硅薄板中的任意一种。

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