[发明专利]红外探测器及红外成像仪在审
| 申请号: | 201811644183.5 | 申请日: | 2018-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN111380614A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
| 发明(设计)人: | 王营城;黄忠政;金元浩;李群庆;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | G01J5/00 | 分类号: | G01J5/00;G01J5/10;G01J5/34;G01J5/12;G01J5/18;G01J5/20;G01J5/26 |
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| 地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 红外探测器 红外 成像 | ||
本发明涉及一种红外探测器,其包括:一红外光谱吸收体,用于吸收红外光谱并将红外光谱转化为热量;一热电元件,所述红外光谱吸收体设置在所述热电元件上,与所述热电元件接触设置;一电信号检测器,与所述热电元件电连接并串联形成一回路,用于检测所述热电元件的电学性能的变化;其中,所述红外光谱吸收体包括一碳纳米管阵列,所述碳纳米管阵列包括多个碳纳米管,该多个碳纳米管的高度基本相同,且垂直于所述热电元件的表面。本发明还涉及一种基于该红外探测器的红外成像仪。
技术领域
本发明涉及一种红外探测器,特别涉及一种基于碳纳米管阵列的红外探测器及红外成像仪。
背景技术
红外光是介于微波与可见光之间的电磁波,太阳的热量主要通过红外光传到地球。同时,自然界的任何物体都是红外光辐射源,时时刻刻都在不停地向外辐射红外光。目前,红外光主要应用在军事、医疗领域,如侦察敌情、诊断疾病等。但是,广泛存在的红外光仍没有被充分和有效利用,因此,研究能够充分吸收红外光的吸收体并能将红外光方便应用是十分必要的。
发明内容
有鉴于此,确有必要提供一种采用完美吸收红外光的吸收体制备的红外探测器。
一种红外探测器,其包括:一红外光谱吸收体,用于吸收红外光谱并将红外光谱转化为热量;一热电元件,所述红外光谱吸收体设置在所述热电元件上,与所述热电元件接触设置;一电信号检测器,与所述热电元件电连接并串联形成一回路,用于检测所述热电元件的电学性能的变化;其中,所述红外光谱吸收体包括一碳纳米管阵列,所述碳纳米管阵列包括多个碳纳米管,该多个碳纳米管的高度基本相同,且垂直于所述热电元件的表面。
相较于现有技术,本发明提供的红外探测器具有以下有益效果:采用碳纳米管阵列作为红外光的吸收体,由于碳纳米管阵列对波长在0.4微米-20微米的红外宽光谱的吸收率可达99.5%以上,碳纳米管阵列可有效将红外光转化为热,因此,该红外探测器可有效检测出红外光的存在;所述红外探测器制备简单,成本低,灵敏度高。
附图说明
图1是本发明第一实施例提供的红外光吸收体的制备方法流程图。
图2是本发明第一实施例提供的激光束扫描路径图。
图3是本发明提供的激光束处理前后碳纳米管阵列对红外线的反射率曲线图。
图4是本发明提供的激光束处理前后碳纳米管阵列的扫描电镜图。
图5是本发明第二实施例提供的红外光吸收体的制备方法流程图。
图6是本发明提供的刻蚀处理前后碳纳米管阵列对红外线的反射率曲线图。
图7是本发明提供的刻蚀处理前后碳纳米管阵列的扫描电镜图。
图8是本发明提供的刻蚀处理前后碳纳米管阵列的侧面扫描电镜图。
图9是本发明提供的激光束处理和刻蚀处理后碳纳米管阵列对红外线的反射率曲线图。
图10是本发明第三实施例提供红外探测器的结构示意图。
图11是发明提供的基于热电偶的红外探测器的结构示意图。
图12是本发明第四实施例提供的红外成像仪的结构示意图。
主要元件符号说明
如下具体实施例将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
下面将结合具体实施例及附图对本发明所提供的红外光吸收体的制备方法、采用该方法得到的吸收体制备的红外探测器、红外成像仪作进一步说明。
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