[发明专利]一种真空传送片装置

说明书

本发明公开一种真空传送片装置，包括：腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6)，其中，所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接，使机械手(3)沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动，所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。本发明能够实现机械手的运行的精确控制，并且可以调节其运行行程，适用于多种半导体设备的晶片取送。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种真空传送片装置。

背景技术

随着科技飞速发展，半导体行业的重要性日见突出，半导体制造的自动化及要求也越来越高。半导体行业中很多设备都需要用到真空机械手传送晶片，但目前商品化、成品化的真空传片机械手非常少，而且此类真空传片机械手一般都是多用于多个设备集成的机台，成本也较高。针对单个机台使用的真空传片装置多为定制化，加工零件成本高昂，而且结构复杂，装配难度高，要求精度高，应用性能也缺乏可靠性。

发明内容

为了解决上述问题，本发明公开一种真空传送片装置，包括：腔体、滑轨导向装置、机械手、钢带驱动机构、传感器装置和腔盖，其中，所述腔体和腔盖之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置与所述机械手连接，使机械手沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构与机械手的中间部位相连接驱动所述机械手运动，所述传感器装置设置在所述腔体的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手的行程及初始、终止位置。

本发明的真空传送片装置中，优选为，所述滑轨导向装置，包括固定座、导杆、滑块，其中，所述固定座固定在腔体底部四个角的位置，所述导杆的两端分别固定在所述固定座上，形成固定且相互平行的两条导轨，两个所述滑块以可滑动的方式穿装在两根平行的所述导杆之上，所述机械手是固定在两个所述滑块上。

本发明的真空传送片装置中，优选为，所述机械手的行程设计为小于导杆的有效长度与滑块的长度的差值，在导杆两端分别预留一定安全距离。

本发明的真空传送片装置中，优选为，所述机械手的初始和终止位置与导杆两端分别有1～20mm的距离。

本发明的真空传送片装置中，优选为，所述钢带驱动机构包括主动轮、钢带、连接块、被动轮和调节座，所述主动轮与腔体底部马达或电机连接，被动轮安装在调节座上，所述调节座固定于腔体底部，实现被动轮的调节，被动轮和主动轮之间采用钢带连接及传动，通过调节座将钢带拉紧实现传动，连接块与机械手连接，实现机械手的驱动。

本发明的真空传送片装置中，优选为，所述机械手的行程设计为小于所述连接块运行到两端的距离与所述连接块的长度的差值，在钢带两端分别预留一定安全距离。

本发明的真空传送片装置中，优选为，所述钢带两端的安全距离大于所述导杆两端的安全距离。

本发明的真空传送片装置中，优选为，所述传感器装置包括发射器、安装座、压板、玻璃透镜和反光板，所述压板将玻璃透镜压紧固定在腔体的侧面，所述玻璃透镜与所述腔体间设置有密封圈，所述发射器固定在安装座上，所述安装座以位置可调的方式固定在腔体上，反射板安装在与所述发射器相对的腔体的另一侧内壁，用于反射所述发射器的信号。

本发明的真空传送片装置中，优选为，所述传感器装置正常工作时，每个发射器都会发射激光并接收对面发光板返回的激光信号，如果有物体挡住了光线，使发射器接收不到返回信号，则该传感器装置将反馈一个停止信号。

附图说明

图1是本发明的真空传送片装置的整体结构图。

图2是本发明的滑轨导向装置的结构图。

图3是本发明的钢带驱动机构的结构图。