[发明专利]一种真空传送片装置在审
申请号: | 201811635906.5 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN111383971A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 侯永刚;胡冬冬;李娜;程实然;陈兆超;刘海洋;王铖熠;邱勇;许开东 | 申请(专利权)人: | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人: | 孟海娟;崔建丽 |
地址: | 221300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 传送 装置 | ||
1.一种真空传送片装置,其特征在于,
包括:腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6),
其中,所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接,形成可开启的密闭空间,所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接,使机械手(3)沿滑轨导向方向运动,所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动,所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置,精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。
2.根据权利要求1所述的真空传送片装置,其特征在于,
所述滑轨导向装置(2)包括固定座(21)、导杆(22)和滑块(23),其中,所述固定座(21)固定在腔体(1)底部四个角的位置,所述导杆(22)的两端分别固定在所述固定座(21)上,形成固定且相互平行的两条导轨,两个所述滑块(23)以可滑动的方式穿装在两根平行的所述导杆(22)之上,所述机械手(3)固定在两个所述滑块(23)上。
3.根据权利要求1所述的真空传送片装置,其特征在于,
所述机械手的行程设计为小于导杆(22)的有效长度与滑块(23)的长度的差值,在导杆(22)两端分别预留一定安全距离。
4.根据权利要求3所述的真空传送片装置,其特征在于,
所述机械手的初始和终止位置与导杆(22)两端分别有1~20mm的安全距离。
5.根据权利要求1所述的真空传送片装置,其特征在于,
所述钢带驱动机构(4)包括主动轮(41)、钢带(42)、连接块(43)、被动轮(44)和调节座(45),所述主动轮(41)与所述腔体(1)底部的马达或电机连接,所述被动轮(44)安装在所述调节座(45)上,所述调节座(45)固定于所述腔体(1)底部,实现所述被动轮(44)的调节,所述被动轮(44)和所述主动轮(41)之间采用所述钢带(42)连接及传动,通过所述调节座(45)将所述钢带(42)拉紧实现传动,所述连接块(43)与所述机械手(3)连接,实现对所述机械手(3)的驱动。
6.根据权利要求5所述的真空传送片装置,其特征在于,
所述机械手的行程设计为小于所述连接块(43)运行到所述钢带(42)两端的距离与所述连接块(43)的长度的差值,在所述钢带(42)两端分别预留一定安全距离。
7.根据权利要求6所述的真空传送片装置,其特征在于,
所述钢带(42)两端的安全距离大于所述导杆(22)两端的安全距离。
8.根据权利要求1所述的真空传送片装置,其特征在于,
所述传感器装置(5)包括发射器(51)、安装座(52)、压板(53)、玻璃透镜(54)和反光板(55),所述压板(53)将玻璃透镜(54)压紧固定在腔体(1)的侧面,所述玻璃透镜(54)与所述腔体(1)间设置有密封圈,所述发射器(51)固定在所述安装座(52)上,所述安装座(52)以位置可调的方式固定在所述腔体(1)上,所述反射板(55)安装在与所述发射器(51)相对的所述腔体(1)的另一侧内壁,用于反射所述发射器(51)的信号。
9.根据权利要求1所述的真空传送片装置,其特征在于,
所述传感器装置(5)正常工作时,每个所述发射器(51)都会发射激光并接收对面发光板(55)返回的激光信号,如果有物体挡住了光线,使所述发射器(51)接收不到返回信号,则该传感器装置(5)将反馈一个停止信号。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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