[发明专利]静态光反射显微热成像方法、装置及终端设备

说明书

本发明提供了一种静态光反射显微热成像方法、装置及终端设备，同时获取被光源区域A的图像和被测目标区域B的图像，通过光源区域A的像素读数，获取被测目标区域B的漂移修正系数；在M个不同温度下获取每个温度下被测目标区域B的N帧图像，计算被测目标区域B中任一像素b_k的读数均值获得b_k所对应的M个数据对；进行线性拟合得到斜率β并根据β计算b_k所对应的光热反射系数C_TR(b_k)；分别计算参考温度T₀下b_k的读数均值和待测温度T_x下b_k的读数均值根据T₀、C_TR(b_k)、和计算b_k的待测温度T_x(b_k)。解决了基于相机的热成像技术需要对被测目标的温度进行调制的问题。

技术领域

本发明属于温度检测及显微成像技术领域，尤其涉及一种静态光反射显微热成像方法、装置及终端设备。

背景技术

光热反射测温技术是一种非接触测温技术，其基础是光热反射(thermoreflectance)现象。光热反射现象基本的特征是物体的反射率会随物体的温度变化而变化。基于光反射原理的显微热成像技术常用于微电子和光电子器件的温度检测，典型场景如微波功率器件的热阻测量、热点检测、失效分析，IC(Integrated Circuits，集成电路)温度分布，半导体激光器和VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直腔面发射激光器)的发射面毁伤等。

现有的基于光反射原理的热成像技术可以分为基于相机和基于扫描两类。基于扫描的热成像技术多使用光电二极管作为探测器，优点是响应时间短、可以实现更高的准确度，但是由于需要扫描来获得温度分布，整体的测温效率较低；基于相机的成热像同时获取整个画面区域的温度信息，测试效率更高，因而更适合追求高效率的工业应用。然而现有的基于相机的热成像技术均需要对被测目标的温度进行调制，无法测量未调制的静态目标。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种静态光反射显微热成像方法、装置及终端设备，以解决现有的基于相机的热成像技术需要对被测目标的温度进行调制的问题。

本发明实施例的第一方面提供了一种静态光反射显微热成像方法，包括：

同时获取被测目标所对应的光源区域A的图像和所述被测目标区域B的图像；

通过所述光源区域A中的全部或部分像素所对应的读数，获取所述被测目标区域B所对应的漂移修正系数；

选取M个不同温度{T₁，T₂，...，T_l，...，T_M}下的所述被测目标区域B的图像，针对所述M个不同温度中的任一温度T_l，获取所述温度T_l下所述被测目标区域B所对应的N帧图像，结合所述被测目标区域B在所述N帧图像中每一帧图像所对应的漂移修正系数，计算所述被测目标区域B中任一像素b_k的读数均值获得像素b_k所对应的M个数据对

对所述M个数据对进行线性拟合得到斜率β，根据所述斜率β计算b_k所对应的光热反射系数C_TR(b_k)；

分别计算参考温度T₀下像素b_k的读数均值和待测温度T_x下像素b_k的读数均值