[发明专利]一种晶圆刮边机及其使用方法

权利要求书

1.一种晶圆刮边机，其特征在于，包括：

机架，其上设置有固定平台(101)和台板(102)，所述台板(102)置于所述固定平台(101)的一侧，沿着所述固定平台(101)的周向分布有多个用于放置晶圆的料盒(103)；

取料模块，其设置于所述固定平台(101)上，所述取料模块包括有用于吸取晶圆的吸盘(210)以及驱动所述吸盘(210)的机械手(220)；

输送模块，其设置在所述台板(102)上，所述输送模块上设置有Y轴动力组件以及设置在所述Y轴动力组件上的固定组件，所述固定组件用于承载晶圆，所述Y轴动力组件驱动所述固定组件沿着所述机架的纵向移动；

刮边模块，其设置在所述输送模块的上端，所述刮边模块上设置有倒角刀(401)以及驱动所述倒角刀(401)上下以及横向移动的驱动组件；

检测模块，其包括第一CCD相机(502)、第二CCD相机(104)和对刀仪(501)，所述第一CCD相机(502)设置在所述倒角刀(401)的一侧，用于获取固定组件上的晶圆边缘的坐标，所述第二CCD相机设置在所述吸盘(210)的移动路径上，用于获取吸盘(210)上的晶圆的坐标，所述对刀仪(501)设置在所述固定组件的一侧，用于检测所述倒角刀(401)的高度。

2.如权利要求1所述的刮边机，其特征在于，所述料盒(103)的内侧面均匀间隔设置有多个用于放置晶圆的隔板，相邻两个所述隔板之间的间隙大于晶圆的厚度，且所述隔板厚度与间隙之和大于所述吸盘厚度与晶圆厚度之和。

3.如权利要求1所述的刮边机，其特征在于，所述吸盘(210)为U型板状结构，所述吸盘(210)中间设有一容腔(214)，且在所述吸盘(210)上设置有吸孔(211)以及挡板(212)。

4.如权利要求3所述的刮边机，其特征在于，所述Y轴动力组件包括：设置在所述台板(102)上的第一丝杆(301)以及活动设置在所述第一丝杆(301)上的第一螺母，且所述第一丝杆(301)由一第一电机驱动旋转。

5.如权利要求4所述的刮边机，其特征在于，所述固定组件包括：

Y轴平台(321)，其固定在所述第一螺母上；

光源固定板(322)，其设置在所述Y轴平台(321)上，在所述光源固定板(322)的中心开设有第一圆形通槽；

底板(323)，其通过多个支撑架(3231)固定在所述光源固定板(322)的上方，在所述底板(323)的两侧分别设置有一第一滑轨(330)，在所述第一滑轨(330)上活动设置有多个第一滑块(331)，且在所述底板(323)的中心开设有第二圆形通槽；

环形光源(340)，其设置在所述第二圆形通槽内，且所述环形光源(340)通过多个光源支撑架固定在所述光源固定板(322)上；

固定吸盘(328)，其置于所述环形光源(340)的上方，所述固定吸盘(328)上开设有第一通气槽(3281)，所述固定吸盘(328)下端设置有固定载具，所述固定载具穿过所述环形光源(340)和第一圆形通槽与所述Y轴平台(321)相连；

固定芯(327)，其活动设置在所述固定吸盘(328)的中心并与一第一气缸传动连接，所述固定芯(327)上设置有第二通气槽(3271)，且所述固定芯(327)与所述吸盘(210)的容腔(214)相适配；

风口，其设置在所述固定吸盘(328)的四周，所述风口包括相对活动设置的第一抽风口(325)和第二抽风口(326)，所述第一抽风口(325)和第二抽风口(326)上设置有风道(3252)，且在所述第一抽风口(325)和第二抽风口(326)的两侧端分别设置有连接耳(3251)，所述连接耳(3251)固定在对应的所述第一滑块(331)上，在所述第一抽风口(325)和第二抽风口(326)的不同侧端的连接耳(3251)上分别固定有一连接板(332)，且所述连接板(332)与一第二气缸(324)传动连接；

其中，在所述第二抽风口(326)的一端设置有一出气口(329)，所述出气口(329)与所述风道(3252)相连通。