[发明专利]一种可区分不同类型位错的透射电镜成像方法在审
| 申请号： | 201811623972.0 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109632849A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 黄俊;牛牧童;苏旭军;董晓鸣;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射 标定 倾转 位错 透射电镜 矢量 暗场成像 矢量衍射 衍射衬度 衍射谱 探测器 带轴 成像 电子束 图像 位错类型 演变规律 传统的 拍摄 入射 观察 | ||
1.一种可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，其特征在于，包括：
在普通透射电镜模式下，倾转样品，使电子束沿第一晶带轴入射，拍摄样品的衍射谱，并进行第一次标定；
根据所述第一次标定倾转样品，使样品处于第一衍射矢量的双束衍射状态；
将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器收集所述第一衍射矢量衍射束的衍射衬度图像；
倾转样品，使电子束沿第二晶带轴入射，拍摄样品的衍射谱，并进行第二次标定，所述第一晶带轴与所述第二晶带轴不同；
根据所述第二次标定倾转样品，使样品的待观察位错区域处于第二衍射矢量的双束衍射状态；
将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器收集所述第二衍射矢量衍射束的衍射衬度图像；
根据所述第二次标定倾转样品，使样品处于第三衍射矢量的双束衍射状态；
将电镜切换进入暗场成像模式，利用探测器收集所述第三衍射矢量衍射束的衍射衬度图像。
2.根据权利要求1所述的可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，其特征在于，所述样品为六方结构的III族氮化物。
3.根据权利要求2所述的可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，其特征在于，所述第一晶带轴为[11-20]晶向。
4.根据权利要求3所述的可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，其特征在于，所述第二晶带轴为[-5,10,-5,3]晶向。
5.根据权利要求1-4任一所述的可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，其特征在于，所述第一衍射矢量对应为g＝10-10。
6.根据权利要求5所述的可区分不同类型位错的透射电镜成像方法，其特征在于，所述第二衍射矢量、第三衍射矢量分别对应为g＝1-105和g＝0-115。
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