[发明专利]可兼容多种环境老化试验的方法及系统

权利要求书

1.一种可兼容多种环境老化试验的方法，其特征是，包括试验环境装置以及试验测试电路，利用所述试验环境装置能提供待测功率器件在环境老化试验中所需的试验环境；利用试验测试电路能提供待测功率器件在环境老化试验中所需的电学条件，以能对待测功率器件进行所需的反偏试验或栅偏试验；所述试验环境装置能提供的试验环境包括低温环境、高温环境以及高温高湿环境；

通过试验环境装置提供的试验环境和/或试验测试电路加载的电学条件配合，能对待测功率器件进行所需的环境老化试验，对待测功率器件能进行的环境老化试验包括HTRB试验、H₃TRB试验、HTGB试验、HTS试验、LTS试验或THS试验；

所述试验测试电路包括反偏电压部以及栅偏电压部，反偏电压部、栅偏电压部与待测功率器件对应连接后，通过反偏电压部能向待测功率器件加载反偏电压，通过栅偏电压部能向待测功率器件加载栅偏电压；通过反偏电压部、栅偏电压部对待测功率器件加载相应的电压后，能对待测功率器件进行HTGB试验、HTRB试验或H₃TRB试验；

所述反偏电压部包括反偏电压电源V_CC，所述反偏电压电源V_CC的负极端接地，反偏电压电源V_CC的正极端与电阻R1的一端连接，电阻R1的另一端与开关A2的第一端连接，开关A2的第二端与开关A1的第二端连接，开关A1的第一端接地，开关A2的第二端、开关A1的第二端相互连接后能与待测功率器件相应的端部连接；

所述栅偏电压部包括正栅压偏置电源V_GG+以及负栅压偏置电源V_GG-，所述正栅压偏置电源V_GG+的负极端接地，正栅压偏置电源V_GG+的正极端与电阻R3的一端连接，电阻R3的另一端与开关B3的第一端连接，开关B3的第二端与开关B2的第二端以及开关B1的第二端连接，开关B2的第一端接地，开关B1的第一端与电阻R2的一端以及开关S1的一端连接，开关S1的另一端、电阻R2的另一端均与负栅压偏置电源V_GG-的负极端连接，负栅压偏置电源V_GG-的正极端接地；开关B1的第二端、开关B2的第二端以及开关B3的第二端相互连接后能与待测功率器件相应的端部连接。

2.一种可兼容多种环境老化试验的方法，其特征是，包括试验环境装置以及试验测试电路，利用所述试验环境装置能提供待测功率器件在环境老化试验中所需的试验环境；利用试验测试电路能提供待测功率器件在环境老化试验中所需的电学条件，以能对待测功率器件进行所需的反偏试验或栅偏试验；所述试验环境装置能提供的试验环境包括低温环境、高温环境以及高温高湿环境；

通过试验环境装置提供的试验环境和/或试验测试电路加载的电学条件配合，能对待测功率器件进行所需的环境老化试验，对待测功率器件能进行的环境老化试验包括HTRB试验、H₃TRB试验、HTGB试验、HTS试验、LTS试验或THS试验；

所述试验测试电路包括反偏电压部以及栅偏电压部，反偏电压部、栅偏电压部与待测功率器件对应连接后，通过反偏电压部能向待测功率器件加载反偏电压，通过栅偏电压部能向待测功率器件加载栅偏电压；通过反偏电压部、栅偏电压部对待测功率器件加载相应的电压后，能对待测功率器件进行HTGB试验、HTRB试验或H₃TRB试验；

所述反偏电压部包括反偏电压电源V_CC，所述反偏电压电源V_CC的负极端接地，反偏电压电源V_CC的正极端与电阻R1的一端连接，电阻R1的另一端与开关A2的第一端连接，开关A2的第二端与开关A1的第二端连接，开关A1的第一端接地，开关A2的第二端、开关A1的第二端相互连接后能与待测功率器件相应的端部连接；

所述栅偏电压部包括栅压偏置电源V_GG以及与所述栅压偏置电源V_GG连接的极性切换电路S3，栅压偏置电源V_GG通过极性切换电路能使其一端接地，而另一端与电阻R4的一端连接，电阻R4的另一端与开关B4的第一端连接，开关B4的第二端与开关B5的第一端连接，开关B5的第二端接地，电阻R4与开关S2并联，开关B4的第二端、开关B5的第一端相互连接后能与待测功率器件相应的端部连接。