[发明专利]磁性元件、使用其的涡电流式传感器、研磨装置、研磨方法以及计算机可读取记录介质

权利要求书

1.一种磁性元件，其特征在于，具有：

底部磁性体；

中央磁性体，该中央磁性体设于所述底部磁性体的中央；

周边部磁性体，该周边部磁性体设于所述底部磁性体的周边部；

能够产生磁场的内部励磁线圈，该内部励磁线圈配置在所述中央磁性体的外周；以及

能够产生磁场的外部励磁线圈，该外部励磁线圈配置在所述周边部磁性体的外周，

当电流在所述内部励磁线圈与所述外部励磁线圈中向不同方向流动时，所述内部励磁线圈在所述中央磁性体内产生的磁场的方向与所述外部励磁线圈在所述中央磁性体内产生的磁场的方向相同，

当电流在所述内部励磁线圈与所述外部励磁线圈中向相同方向流动时，所述内部励磁线圈在所述中央磁性体内产生的磁场的方向与所述外部励磁线圈在所述中央磁性体内产生的磁场的方向相反。

2.如权利要求1所述的磁性元件，其特征在于，

所述底部磁性体具有柱状的形状，所述周边部磁性体配置在所述柱状的形状的两端。

3.如权利要求1所述的磁性元件，其特征在于，

所述周边部磁性体在所述底部磁性体的周边部设有多个。

4.如权利要求1所述的磁性元件，其特征在于，

所述周边部磁性体是以包围所述中央磁性体的方式设于所述底部磁性体的周边部的壁部。

5.如权利要求1至4中任一项所述的磁性元件，其特征在于，

所述内部励磁线圈和所述外部励磁线圈能够电并联地连接。

6.如权利要求1至4中任一项所述的磁性元件，其特征在于，

所述内部励磁线圈在所述中央磁性体内产生的磁场的方向与所述外部励磁线圈在所述中央磁性体内产生的磁场的方向能够相同。

7.如权利要求1至4中任一项所述的磁性元件，其特征在于，

具有能够检测磁场的检测线圈，该检测线圈配置在所述中央磁性体的外周及/或所述周边部磁性体的外周。

8.如权利要求7所述的磁性元件，其特征在于，

具有能够检测磁场的虚拟线圈，该虚拟线圈配置在所述中央磁性体的外周及/或所述周边部磁性体的外周。

9.如权利要求1至4中任一项所述的磁性元件，其特征在于，

具有能够检测磁场的检测线圈和能够检测磁场的虚拟线圈，该检测线圈配置在所述中央磁性体的外周，该虚拟线圈配置在所述中央磁性体的外周。

10.一种涡电流式传感器，其特征在于，

具有权利要求7至9中任一项所述的磁性元件。

11.一种研磨装置，其特征在于，具有：

研磨台，用于研磨被研磨物的研磨垫能够贴附于该研磨台；

驱动部，该驱动部能够驱动所述研磨台旋转；

保持部，该保持部能够保持所述被研磨物并将所述被研磨物向所述研磨垫按压；

如权利要求10所述的涡电流式传感器，该涡电流式传感器配置在所述研磨台的内部，通过所述检测线圈能够检测出伴随所述研磨台的旋转而利用所述内部励磁线圈和所述外部励磁线圈形成于所述被研磨物的涡电流；以及

终点检测部，该终点检测部能够根据所述检测出的所述涡电流对表示所述被研磨物的研磨的结束的研磨终点进行检测。

12.如权利要求11所述的研磨装置，其特征在于，

所述终点检测部根据所述检测出的所述涡电流确定所述被研磨物的研磨速率，计算在以所述研磨速率对所述被研磨物进行研磨时的预期研磨量，从而能够检测所述研磨终点。