[发明专利]有源层厚度的监控方法

说明书

本发明提供一种有源层厚度的监控方法。该有源层厚度的监控方法通过监控机台监控GOA区中的薄膜晶体管的有源层的厚度，当有源层的厚度小于一预设的阈值时，该监控机台报警，当有源层的厚度大于或等于一预设的阈值时，该监控机台不报警，从而及时调整制作工艺，避免造成大量显示面板出现异常。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种有源层厚度的监控方法。

背景技术

薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)是目前液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay，LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(Active Matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片(ColorFilter，CF)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线透射出来产生画面。液晶显示面板成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、刻蚀及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。

现有的液晶显示面板在点灯测试的时候，发现画面有多条水平不连续的亮线，在红色纯色画面、绿色纯色画面以及蓝色纯色画面下水平不连续的亮线更加明显，经过观察发现相邻的主像素(Main Pixel)发亮，经过Main Pixel发亮理论分析推测得到是TFT的非晶硅(Amorphous Silicon，AS)有源层偏薄，导致GOA(Gate Driver on Array，即阵列基板行驱动技术，将栅极扫描驱动电路制作在TFT阵列基板上)区的TFT开关异常，导致最终输出的栅极扫描(GATE)信号不稳定，或者时序有问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种有源层厚度的监控方法，可以避免造成大量显示面板出现异常。

为实现上述目的，本发明提供了一种有源层厚度的监控方法，包括如下步骤：

步骤S1、提供一承载机台，在该承载机台上形成大板；所述大板包括面板区以及包围所述面板区的GOA区；所述GOA区包括多个薄膜晶体管；该薄膜晶体管包括有源层；

步骤S2、提供一监控机台，该监控机台监控所述GOA区中的薄膜晶体管的有源层的厚度，当有源层的厚度小于一预设的阈值时，该监控机台报警，当有源层的厚度大于或等于一预设的阈值时，该监控机台不报警。

所述大板的形状为矩形；所述大板的四个角落位于GOA区中；

所述步骤S2中，该监控机台监控所述GOA区中位于大板的四个角落的薄膜晶体管的有源层的厚度。

所述面板区位于大板的中心区域，所述GOA区位于大板中包围所述中心区域的边缘区域；所述大板的四个角落位于大板的边缘区域中。

所述步骤S2中，所述监控机台包括多个量测点，将所述多个量测点分别分布在大板的四个角落，每个量测点根据一预设的时间间隔多次量测位于该量测点位置的有源层的厚度。

所述监控机台根据每个量测点量测的有源层的厚度的最小值建立一个SPC图表，该SPC图表中设有一预设的阈值，当一个或多个量测点量测的有源层的厚度的最小值小于该预设的阈值时，所述监控机台报警。